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[導(dǎo)讀]日本爾必達(dá)存儲器正致力于通過小額設(shè)備投資實(shí)現(xiàn)大幅增產(chǎn)的“高明投資”方式。該公司預(yù)計(jì)2011財(cái)年(2011年4月~2012年3月)的DRAM需求增幅將達(dá)到50%/年,但卻打算以較上財(cái)年減少30%的設(shè)備投資額(800億日元)來應(yīng)對

日本爾必達(dá)存儲器正致力于通過小額設(shè)備投資實(shí)現(xiàn)大幅增產(chǎn)的“高明投資”方式。該公司預(yù)計(jì)2011財(cái)年(2011年4月~2012年3月)的DRAM需求增幅將達(dá)到50%/年,但卻打算以較上財(cái)年減少30%的設(shè)備投資額(800億日元)來應(yīng)對。從40nm開始采用的嵌入式字線(WordLine)工藝技術(shù)是確保上述計(jì)劃得以實(shí)現(xiàn)的關(guān)鍵。

嵌入式字線技術(shù)的特點(diǎn)是,無需大量使用實(shí)現(xiàn)微細(xì)化所必需的ArF液浸曝光裝置等。而且,2011財(cái)年將全面導(dǎo)入的30nm和部分導(dǎo)入的25nm將與40nm具有較高的工藝共通性。由此,只需少量設(shè)備投資額便可推進(jìn)微細(xì)化進(jìn)程。對此,爾必達(dá)在發(fā)布2011財(cái)年第四季度(2011年1月~3月)的結(jié)算時(shí)表示,“微細(xì)化至30nm和25nm所需要的設(shè)備投資額,僅為微細(xì)化至采用嵌入式字線技術(shù)之前的70nm的1/7”,“將臺灣瑞晶電子的量產(chǎn)線(300mm晶圓的處理能力超過8萬枚/月)從30nm全部換成25nm,需要耗費(fèi)250億日元左右”,“如果新建一條相同規(guī)模的量產(chǎn)線,需要花費(fèi)2500億日元左右”。

這樣做的話,在晶圓處理能力為1萬枚/月的條件下,針對30nm和25nm的微細(xì)化投資可以大幅壓縮至30億日元左右,而新設(shè)生產(chǎn)線則需要約300億日元,微細(xì)化至70nm需要200多億日元。另外,關(guān)于20nm以后的微細(xì)化,爾必達(dá)計(jì)劃采用三維構(gòu)造,制成4F2(F為設(shè)計(jì)規(guī)則)單元的工藝技術(shù)。此時(shí)工藝技術(shù)會(huì)發(fā)生較大變化,存在更新生產(chǎn)設(shè)備、需要大量設(shè)備投資的可能性。關(guān)于這一點(diǎn),爾必達(dá)表示“我們將動(dòng)腦筋盡可能控制設(shè)備投資額”。

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