iST集團建構MEMS G-Sensor標準失效分析流程

在先端科技的蓬勃發(fā)展下，微機電系統(tǒng)(MEMS)元件已成為智慧產品的主要核心。為降低企業(yè)投入MEMS開發(fā)時，會有分析技術難以找出MEMS真正失效原因，iST集團-臺灣宜特宣布成功建構出MEMS G-Sensor的標準失效分析流程。此流程亦被許多公司實際采用，目前全臺開發(fā)MEMS G-sensor的公司中，約達九成在iST集團宜特幫助下解決失效問題。
iST集團營運長林正德指出，2007年預見此市場需求后即投入研發(fā)，全面布局MEMS等新興產品失效分析技術。這幾年在大量實務經驗深耕下，更于今年建立出MEMS標準失效分析流程。

iST集團觀察發(fā)現(xiàn)，許多公司欲了解MEMS元件的失效狀況時，由于對其結構的認知度、掌握度不夠，因此以傳統(tǒng)方式做開蓋(De-cap)觀察，容易造成元件污染。此外，iST集團進一步指出，因元件為懸浮結構，以外力移除時易產生毀損。兩造影響下，容易造成元件污染和應力破壞，不但沒有找出真因，反而制造更多失效盲點。為克服此問題，iST集團今年已成功開發(fā)出MEMS無污染的De-cap技術，結合無應力元件移除技術，以非破壞方式保留結構原貌，避開機械應力和污染產生的非真因失效。

iST網址：www.istgroup.com