[導(dǎo)讀]CMEMS技術(shù)是由時(shí)序解決方案供應(yīng)商Silicon Labs與中芯國(guó)際合作開發(fā)一種CMOS+MEMS創(chuàng)新制程。此技術(shù)結(jié)合許多超越傳統(tǒng)振蕩器制造的優(yōu)點(diǎn)，包括可擴(kuò)展性、客戶可編程性、0天樣品生成及長(zhǎng)期可靠性和效能。
Silicon Labs于
CMEMS技術(shù)是由時(shí)序解決方案供應(yīng)商Silicon Labs與中芯國(guó)際合作開發(fā)一種CMOS+MEMS創(chuàng)新制程。此技術(shù)結(jié)合許多超越傳統(tǒng)振蕩器制造的優(yōu)點(diǎn)，包括可擴(kuò)展性、客戶可編程性、0天樣品生成及長(zhǎng)期可靠性和效能。
Silicon Labs于2004年推出石英振蕩器(XO)系列產(chǎn)品，運(yùn)用創(chuàng)新和專利的混合訊號(hào)專業(yè)技術(shù)，從單一基于晶體的參考頻率中生成任意的頻率輸出，免去不同頻率所需的特定晶體，因此大幅簡(jiǎn)化晶體制造技術(shù)流程，包括特定切片與電鍍，這可以讓整體交期縮短到2周以內(nèi)。
隨著CMEMS出現(xiàn)，Silicon Labs再次帶給頻率控制市場(chǎng)重要的技術(shù)進(jìn)展。CMEMS采用微機(jī)電半導(dǎo)體諧振器取代XO當(dāng)中的晶體諧振元件，此一技術(shù)更可將高效能MEMS直接建構(gòu)在標(biāo)準(zhǔn)的CMOS晶圓上，且制程線寬可小于180奈米。結(jié)合混合訊號(hào)知識(shí)，CMEMS技術(shù)可以采用單一參考頻率，生成幾乎所有頻率輸出。
Silicon Labs于2004年推出石英振蕩器(XO)系列產(chǎn)品，運(yùn)用創(chuàng)新和專利的混合訊號(hào)專業(yè)技術(shù)，從單一基于晶體的參考頻率中生成任意的頻率輸出，免去不同頻率所需的特定晶體，因此大幅簡(jiǎn)化晶體制造技術(shù)流程，包括特定切片與電鍍，這可以讓整體交期縮短到2周以內(nèi)。
隨著CMEMS出現(xiàn)，Silicon Labs再次帶給頻率控制市場(chǎng)重要的技術(shù)進(jìn)展。CMEMS采用微機(jī)電半導(dǎo)體諧振器取代XO當(dāng)中的晶體諧振元件，此一技術(shù)更可將高效能MEMS直接建構(gòu)在標(biāo)準(zhǔn)的CMOS晶圓上，且制程線寬可小于180奈米。結(jié)合混合訊號(hào)知識(shí)，CMEMS技術(shù)可以采用單一參考頻率，生成幾乎所有頻率輸出。
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