全新MEMS晶片打造無電池TPMS系統(tǒng)
在1KHz的自然共振頻率下,新的 MEMS 能量采集器最大輸出功率低于500微瓦(microwatt)。在每小時(shí)40英哩時(shí)速下,汽車輪胎能源產(chǎn)生的能量大約僅比40微瓦多出一些,不過,IMEC表示這已經(jīng)足夠?yàn)閴毫Ω袦y(cè)器和TPMS系統(tǒng)的無線通訊電路供電了。
這個(gè)MEMS能源采集器包含一個(gè)具有壓電層(氮化鋁)夾層的懸臂支架,這個(gè)壓電層夾在金屬電極之間形成一個(gè)電容器。一個(gè)質(zhì)量塊(mass)連接到懸臂的一端,使其成為可隨著壓電層彎曲而將振動(dòng)轉(zhuǎn)換為電能的轉(zhuǎn)換器。電容兩端的電壓也能被采集,用來驅(qū)動(dòng)無線電路。
IMEC已經(jīng)證實(shí),這種微型能源采集器可在6寸晶圓上用真空制程來制造。IMEC預(yù)測(cè),其MEMS能源采集器將在許多應(yīng)用中被用于無線感測(cè)器節(jié)點(diǎn),這類應(yīng)用包括汽車引擎到工業(yè)應(yīng)用等,其共同特點(diǎn)是電池都不大方便充電。
MEMS 能源采集器可采集輪胎內(nèi)部振動(dòng)產(chǎn)生的能量,打造出免用電池的胎壓感測(cè)器。
編譯: Joy Teng
(參考原文: MEMS chip enables battery-free sensors,by R. Colin Johnson)