歐姆龍開發(fā)燃料電池用MEMS流量傳感器

    　 歐姆龍于2011年1月14日發(fā)布了可測量燃料電池氣體流量的新款MEMS流量傳感器“形D6F-70”。此前產品可測量的最大流量為50升/分，而此次的產品提高至70升/分。2011年1月25日開始上市。2013年度的銷售目標約為20萬個。

該產品設想用于家用燃料電池系統(tǒng)空氣極的流量控制。該用途“需要具有70升/分的檢測性能”（歐姆龍），因此對原產品作了改進?！巴ㄟ^改進內部流路的構造而實現(xiàn)”（該公司）。配備的MEMS流量傳感器元件與原產品相同，尺寸為1.55mm×1.55mm×0.4mm。形D6F-70的外形尺寸為 84.6mm×32mm×30mm。

歐姆龍計劃2012年度上市可測量的最大流量為200升/分的產品。該產品將用于商用燃料電池系統(tǒng)等。