歐姆龍利用MEMS將非接觸溫度傳感器靈敏度提高至原來7倍

歐姆龍宣布，開發(fā)出了采用MEMS技術(shù)的高靈敏度非接觸溫度傳感器元件。通過將這種傳感器元件排成陣列，可實現(xiàn)在原來7倍大的空間內(nèi)也能感應到人的MEMS非接觸溫度傳感器。

歐姆龍表示，非接觸溫度傳感器具有攝像頭及熱釋傳感器所不具備的特點，即對照明環(huán)境適應性強，可感應到處于靜止狀態(tài)的人。但因其靈敏度較低，需要縮小 感應區(qū)域。因此，要在較大的空間內(nèi)進行檢測，需要安裝用來驅(qū)動非接觸溫度傳感器的機構(gòu)以及多個傳感器，所以目前尚未普及。

采用液晶用背照燈技術(shù)

歐姆龍表示，普通的非接觸溫度傳感器元件，很多紅外線都會穿透紅外線吸收膜，因而靈敏度較低。此次通過采用在開發(fā)液晶用背照燈時培育的光波控制技術(shù)， 開發(fā)出了可使紅外線匯聚到紅外線吸收膜的微鏡。開發(fā)這種微鏡時，歐姆龍通過NEDO FineMEMS項目與東京大學下山研究室進行了共同研究，在以往很難形成曲面的硅晶圓上制作出了自由曲面。

由于可在硅晶圓上形成微鏡，因此能在晶圓級別上使傳感器元件與鏡片進行真空接合，從而減少釋放到空氣中的熱量，以此提高靈敏度?？稍诒３猪憫俣炔蛔?的情況下將靈敏度提高至原來的7倍。這樣，便可使感應區(qū)域擴大至原來的7倍。此次開發(fā)的傳感器元件的尺寸為150μm見方。將傳感器元件排成16×16的 陣列時，芯片尺寸只有6mm見方，為“業(yè)界最小水平”。據(jù)該公司介紹，芯片的靈敏度為350V/W，響應速度為3ms左右。

感應區(qū)域擴大至原來的7倍后，可在店鋪及車站等場所，實時檢測人群的擁擠情況，由此可將非接觸溫度傳感器用于空調(diào)控制用途，還能用于檢測夜間有人闖入 等防盜用途。該公司今后將推進MEMS非接觸溫度傳感器的產(chǎn)品化，通過將其連接至傳感器網(wǎng)絡等措施，使其對實現(xiàn)令人放心、安全且舒適的生活環(huán)境起到有益作 用。

另外，歐姆龍還在10月5日（周二）到9日（周六）于幕張Messe會展中心舉行的“CEATEC JAPAN 2010”上展示了此次的非接觸溫度傳感器技術(shù)。（記者：小島 郁太郎）

傳感器芯片的外觀，裝有16×16個傳感器元件。資料由歐姆龍?zhí)峁?。（點擊放大）

原來的傳感器元件（左）與此次的傳感器元件。資料由歐姆龍提供。（點擊放大）