GLOBALFOUNDIES與SVTC合作 加速MEMS量產(chǎn)

   GLOBALFOUNDRIES近日宣布，將與SVTC技術公司結成戰(zhàn)略聯(lián)盟，以加速進行微機電系統(tǒng)（MEMS）的量產(chǎn)制造。

    微機電系統(tǒng)（MEMS）是半導體市場成長最快的區(qū)塊之一，MEMS應用廣泛，從車用感應器、到噴墨打印機、到高階智能型手機與游戲控制器都有MEMS的應用。然而，MEMS的制造過去主要局限于特定的晶圓制造廠，采用「單一制程、單一產(chǎn)品」的模式。為了讓MEMS市場得以持續(xù)快速成長，GLOBALFOUNDRIES正采取積極策略，透過與CMOS流程類似的標準化模式，將MEMS從特定制造平臺轉移到量產(chǎn)平臺。

    200mm晶圓事業(yè)部進階副總裁兼GLOBALFOUNDRIES新加坡總經(jīng)理RajKumar表示，該公司目前已有計劃要增加基礎建設與專業(yè)技術來支援在3E晶圓廠提供專屬的MEMS生產(chǎn)線，目標是在2011年第三季前開始MEMS裝置的量產(chǎn)。新興硅晶圓科技商用服務供應商SVTC，將提供全面的開發(fā)設施，協(xié)助GLOBALFOUNDRIES使用全系列的先進CMOS與MEMS設備，為顧客開發(fā)硅晶圓解決方案。SVTC也將為GLOBALFOUNDRIES工程師提供MEMS技術研發(fā)支援及培養(yǎng)訓練。

    GLOBALFOUNDRIES在MEMS方面的研發(fā)將先著重于三種應用︰加速計、陀螺儀及無線電射頻微機電系統(tǒng)。加速計在手機與消費電子產(chǎn)品上提供進階用戶體驗；陀螺儀提供個人導航的影像穩(wěn)定與方向偵測能力；無線電射頻微機電系統(tǒng)則支援手機的多頻段操作，同時縮小手機體積并減少電力消耗。