GlobalFoundries推進(jìn)MEMS晶圓量產(chǎn)

新浪科技訊 10月15日消息，GlobalFoundries200mm晶圓事業(yè)部高級(jí)副總裁Raj-Kumar今天在上海透露，GlobalFoundries的MEMS晶圓量產(chǎn)能力目前在2000-3000片/月，而隨著技術(shù)的改進(jìn)和工藝裝備的革新，未來2-3年月產(chǎn)能有望增加2倍。

Raj-Kumar是今日在出席全球技術(shù)論壇(GTC)時(shí)向媒體做上述表示的。

他表示相比其他半導(dǎo)體技術(shù)，MEMS行業(yè)不是那么統(tǒng)一和規(guī)范，因此GlobalFoundries的一個(gè)目標(biāo)就是努力推進(jìn)MEMS的標(biāo)準(zhǔn)化。

他同時(shí)否認(rèn)了GlobalFoundries將為MEMS新建生產(chǎn)線的說法，而是改進(jìn)現(xiàn)有200mm晶圓生產(chǎn)線?！癕EMS和200mm晶圓生產(chǎn)線在前端設(shè)備方面是一樣的，但在后端需要加上相關(guān)專屬設(shè)備，因此GlobalFoundries不會(huì)再新建生產(chǎn)線?！彼硎?。

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是半導(dǎo)體市場(chǎng)成場(chǎng)最快的區(qū)塊之一，GlobalFoundries在MEMS方面的研發(fā)將著重于加速計(jì)、陀螺儀及無線電射頻微機(jī)電系統(tǒng)。

而在2天前(10月13日)，GlobalFoundries宣布與SVTC技術(shù)公司結(jié)成戰(zhàn)略聯(lián)盟，SVTC將協(xié)助GlobalFoundries使用全系列的先進(jìn)CMOS與MEMS設(shè)備，為顧客開發(fā)硅晶圓解決方案，同時(shí)為GlobalFoundries工程師提供MEMS技術(shù)研發(fā)支持及培訓(xùn)。

Raj-Kumar同時(shí)透露GlobalFoundries希望通過當(dāng)下的系列措施，到2015年成為大型MEMS晶圓代工廠。(王霄 發(fā)自上海)