歐洲IMPROVE計劃成功將晶片生產(chǎn)失敗率降低12%
[導(dǎo)讀]參與歐洲 IMPROVE 研究計劃的 35個成員成功提升了歐洲半導(dǎo)體業(yè)的全球競爭力。在 2009 年時，由數(shù)家全球知名的歐洲半導(dǎo)體公司加入了由英飛凌(Infineon)負責(zé)技術(shù)管理的專案計劃，他們的目標是開發(fā)提升歐洲半導(dǎo)體制造效
參與歐洲 IMPROVE 研究計劃的 35個成員成功提升了歐洲半導(dǎo)體業(yè)的全球競爭力。在 2009 年時，由數(shù)家全球知名的歐洲半導(dǎo)體公司加入了由英飛凌(Infineon)負責(zé)技術(shù)管理的專案計劃，他們的目標是開發(fā)提升歐洲半導(dǎo)體制造效率的新方法，同時降低成本并縮短制程時間。
IMPROVE計劃是由德國教育研究部 (BMBF) 資助，技術(shù)成員包括軟體企業(yè)、在歐洲擁有生產(chǎn)據(jù)點的半導(dǎo)體公司、來自奧地利、法國、德國、愛爾蘭、義大利和葡萄牙等國的研究單位和學(xué)術(shù)機構(gòu)等。IMPROVE 是「Implementing Manufacturing science solutions to increase equipment productivity and fab performance(實施制造科技的解決方案以增進設(shè)備產(chǎn)能與晶圓廠效能)」一詞的縮寫。
英飛凌表示，IMPROVE 計劃成員已透過這項研究工作，將晶片生產(chǎn)失敗率降低 12%，此外也成功縮短了半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)時間，復(fù)雜的晶片設(shè)計目前約需要 12 至 16 周，但不久后將可能縮短半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)時間 3% 以上。IMPROVE 成員開發(fā)出全新且智慧化的分析方法和軟體工具，結(jié)合創(chuàng)新的資料評估技巧，進而能夠達到此一成果；為了進一步掌控制程變動，研究夥伴從整個生產(chǎn)線進行探討。其中一個主要挑戰(zhàn)，就是如何將新的方法和軟體元件整合到半導(dǎo)體制造商現(xiàn)有的產(chǎn)品資訊和控制系統(tǒng)中，從生產(chǎn)的前導(dǎo)應(yīng)用中確認研究的成果。
今日制造一個復(fù)雜晶片需要平均 550 個個別制造步驟，通常的制造批次大約為 50 到 100 片晶圓，每批完成后，制造廠必須為下次的量產(chǎn)產(chǎn)品和生產(chǎn)制程重新設(shè)定生產(chǎn)工具，因此必須精密監(jiān)控生產(chǎn)線及其狀況，同時預(yù)測維護要素，才能保持競爭力。此外，IMPROVE 在節(jié)省時間這方面也有關(guān)鍵的貢獻。
英飛凌IMPROVE 專案負責(zé)人 Cristina De Luca 表示：「IMPROVE 研究計劃有其迫切性，尤其是面對晶片功能不斷增加，生產(chǎn)方法持續(xù)復(fù)雜化，制程步驟變多，且生產(chǎn)時間越來越長的情況下。藉由本次半導(dǎo)體業(yè)與學(xué)術(shù)界、工廠和制程控制，以及感測器和軟體開發(fā)產(chǎn)業(yè)的聯(lián)合研究工作，開發(fā)出許多最現(xiàn)代化的技術(shù)，幫助半導(dǎo)體生產(chǎn)往前邁進了一大步?！?br>
IMPROVE 計劃的圓滿成功已獲得認可：該研究計劃已獲選進入「Industrial Technologies 2012」大獎前十名候選名單 (http://industrialtechnologies2012.eu)，入選原因之一在于，該計劃所創(chuàng)造的新產(chǎn)品和方法是以提升歐洲競爭力為目標，具有與財務(wù)方面的相關(guān)性。
IMPROVE 計劃總預(yù)算約 3770 萬歐元，其中半數(shù)來自業(yè)界和研究單位的贊助，另一半則由歐洲奈米科技方案諮詢委員會 (ENIAC Joint Undertaking) 贊助，作為其「SP4 能源暨環(huán)境奈米科技」計劃的一部分，以及來自參與國家的國家基金所贊助。
BMBF 則從德國聯(lián)邦政府的高科技策略和資助計劃(Informations- und Kommunikationstechnologie 2020, IKT 2020) 中提撥 330 萬歐元資助該研究計劃。英飛凌負責(zé)德國計劃成員在 2011 年 11 月之前的協(xié)調(diào)工作，之后則由佛羅恩霍夫整合式系統(tǒng)和裝置研究院 (Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology) 接手。
IMPROVE計劃是由德國教育研究部 (BMBF) 資助，技術(shù)成員包括軟體企業(yè)、在歐洲擁有生產(chǎn)據(jù)點的半導(dǎo)體公司、來自奧地利、法國、德國、愛爾蘭、義大利和葡萄牙等國的研究單位和學(xué)術(shù)機構(gòu)等。IMPROVE 是「Implementing Manufacturing science solutions to increase equipment productivity and fab performance(實施制造科技的解決方案以增進設(shè)備產(chǎn)能與晶圓廠效能)」一詞的縮寫。
英飛凌表示，IMPROVE 計劃成員已透過這項研究工作，將晶片生產(chǎn)失敗率降低 12%，此外也成功縮短了半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)時間，復(fù)雜的晶片設(shè)計目前約需要 12 至 16 周，但不久后將可能縮短半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)時間 3% 以上。IMPROVE 成員開發(fā)出全新且智慧化的分析方法和軟體工具，結(jié)合創(chuàng)新的資料評估技巧，進而能夠達到此一成果；為了進一步掌控制程變動，研究夥伴從整個生產(chǎn)線進行探討。其中一個主要挑戰(zhàn)，就是如何將新的方法和軟體元件整合到半導(dǎo)體制造商現(xiàn)有的產(chǎn)品資訊和控制系統(tǒng)中，從生產(chǎn)的前導(dǎo)應(yīng)用中確認研究的成果。
今日制造一個復(fù)雜晶片需要平均 550 個個別制造步驟，通常的制造批次大約為 50 到 100 片晶圓，每批完成后，制造廠必須為下次的量產(chǎn)產(chǎn)品和生產(chǎn)制程重新設(shè)定生產(chǎn)工具，因此必須精密監(jiān)控生產(chǎn)線及其狀況，同時預(yù)測維護要素，才能保持競爭力。此外，IMPROVE 在節(jié)省時間這方面也有關(guān)鍵的貢獻。
英飛凌IMPROVE 專案負責(zé)人 Cristina De Luca 表示：「IMPROVE 研究計劃有其迫切性，尤其是面對晶片功能不斷增加，生產(chǎn)方法持續(xù)復(fù)雜化，制程步驟變多，且生產(chǎn)時間越來越長的情況下。藉由本次半導(dǎo)體業(yè)與學(xué)術(shù)界、工廠和制程控制，以及感測器和軟體開發(fā)產(chǎn)業(yè)的聯(lián)合研究工作，開發(fā)出許多最現(xiàn)代化的技術(shù)，幫助半導(dǎo)體生產(chǎn)往前邁進了一大步?！?br>
IMPROVE 計劃的圓滿成功已獲得認可：該研究計劃已獲選進入「Industrial Technologies 2012」大獎前十名候選名單 (http://industrialtechnologies2012.eu)，入選原因之一在于，該計劃所創(chuàng)造的新產(chǎn)品和方法是以提升歐洲競爭力為目標，具有與財務(wù)方面的相關(guān)性。
IMPROVE 計劃總預(yù)算約 3770 萬歐元，其中半數(shù)來自業(yè)界和研究單位的贊助，另一半則由歐洲奈米科技方案諮詢委員會 (ENIAC Joint Undertaking) 贊助，作為其「SP4 能源暨環(huán)境奈米科技」計劃的一部分，以及來自參與國家的國家基金所贊助。
BMBF 則從德國聯(lián)邦政府的高科技策略和資助計劃(Informations- und Kommunikationstechnologie 2020, IKT 2020) 中提撥 330 萬歐元資助該研究計劃。英飛凌負責(zé)德國計劃成員在 2011 年 11 月之前的協(xié)調(diào)工作，之后則由佛羅恩霍夫整合式系統(tǒng)和裝置研究院 (Fraunhofer Institute for Integrated Systems and Device Technology) 接手。
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