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[導(dǎo)讀]晶圓代工廠臺(tái)積電今天宣布,加入半導(dǎo)體設(shè)備廠艾司摩爾(ASML)客戶聯(lián)合投資專案,盼加速極紫外光(EUV)微影技術(shù)與18寸晶圓微影設(shè)備開發(fā)及量產(chǎn)。 為讓關(guān)鍵微影技術(shù)發(fā)展順利,且加速進(jìn)行,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備廠ASML于7月9日

晶圓代工臺(tái)積電今天宣布,加入半導(dǎo)體設(shè)備廠艾司摩爾(ASML)客戶聯(lián)合投資專案,盼加速極紫外光(EUV)微影技術(shù)與18寸晶圓微影設(shè)備開發(fā)及量產(chǎn)。

為讓關(guān)鍵微影技術(shù)發(fā)展順利,且加速進(jìn)行,荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備廠ASML于7月9日宣布展開客戶聯(lián)合投資專案,邀請(qǐng)英特爾(Intel)、臺(tái)積電及三星(Samsung)3大廠參加。
英特爾率先決定參與ASML客戶聯(lián)合投資專案,臺(tái)積電董事長暨總執(zhí)行長張忠謀于7月法人說明會(huì)后記者會(huì)時(shí)曾表示,臺(tái)積電并沒有感到壓力,不會(huì)被迫投資ASML。
臺(tái)積電當(dāng)時(shí)仍在審慎評(píng)估中,張忠謀說,臺(tái)積電若決定投資ASML,將主要是基于希望加速EUV發(fā)展考量。
經(jīng)過近1個(gè)月評(píng)估,臺(tái)積電今天宣布,加入ASML客戶聯(lián)合投資專案;根據(jù)協(xié)議,臺(tái)積電將投資ASML達(dá)8.38億歐元,取得ASML約5%股權(quán),未來5年并將投入2.76億歐元,支持ASML的研發(fā)計(jì)劃。
臺(tái)積電執(zhí)行副總經(jīng)理暨共同營運(yùn)長蔣尚義表示,如何有效控制日益攀升的晶圓制造成本,是縮小積體電路尺寸面臨的最大挑戰(zhàn)之一。
蔣尚義說,臺(tái)積電挹注ASML研發(fā)經(jīng)費(fèi),將確保并加快EUV微影技術(shù)開發(fā),同時(shí)提高既有光學(xué)微影工具效能,促進(jìn)18寸晶圓制造技術(shù)的快速發(fā)展,將有助半導(dǎo)體業(yè)控制晶圓成本。

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