GlobalFoundries德勒斯登Fab 1內(nèi)部揭密！
[導讀]在某個晴朗的星期五早晨，一群媒體記者齊聚德國德勒斯登(Dresden)市中心的酒店，準備出發(fā)前往晶圓代工業(yè)者 GlobalFoundries 位于市郊的的Fab 1晶圓廠區(qū)。從一條狹窄的街道遠望，可以看到德勒斯登著名的 Frauenkirche
在某個晴朗的星期五早晨，一群媒體記者齊聚德國德勒斯登(Dresden)市中心的酒店，準備出發(fā)前往晶圓代工業(yè)者 GlobalFoundries 位于市郊的的Fab 1晶圓廠區(qū)。從一條狹窄的街道遠望，可以看到德勒斯登著名的 Frauenkirche 圣母堂；這座美麗的教堂建于18世紀，在二次大戰(zhàn)時期曾毀于燃燒彈，其重建工程在2005年終于完工。
德勒斯登的Frauenkirche 圣母堂
20分鐘的車程到達 GlobalFoundries 的 Fab 1廠區(qū)；該廠區(qū)過去是AMD的Fab 30與Fab 36所在地，于1996年動土，在1999年啟用首個8寸晶圓無塵室。目前Fab 1是GlobalFoundries 的 12寸晶圓生產(chǎn)線所在；親自接待媒體的該公司副總裁暨Fab 1總經(jīng)理Rutger Wijburg表示，該廠未來可支援 20奈米制程節(jié)點、 18寸晶圓生產(chǎn)。
Fab 1是歐洲規(guī)模最大也是最先進的晶圓廠，但是與GlobalFoundries位于美國紐約州Malta即將上線的20奈米、12寸晶圓廠相較還是稍嫌遜色。目前Fab 1正在進行一項投資金額達30億美元的升級計劃，未來可達到每月8萬片12寸初始晶圓、或是每年100萬片初始晶圓的產(chǎn)能。在該廠房擴建計劃下，自2011年中起，就陸續(xù)有設(shè)備進駐一個面積達1萬2,000平方英尺的無塵室；據(jù)了解，該計劃將將持續(xù)「依需求」進行至2014年。
目前的GlobalFoundries Fab 1廠區(qū)配置圖
Wijburg 明確表示，德勒斯登廠區(qū)不會變成趕不上先進制程腳步的「夕陽晶圓廠」，不過目前也還未決定要升級至20奈米制程；而他認為Fab 1終究可以證明其價值，贏得公司高層的信心票，就像英特爾(Intel)位于愛爾蘭都柏林的Leixlip廠房那樣。英特爾的Leixlip廠區(qū)目前也是采用較舊的晶圓制程，但最近獲得10億美元的投資，將設(shè)置14奈米制程節(jié)點的設(shè)備。
Wijburg 表示：「我們一開始會采用28奈米節(jié)點，接下來可轉(zhuǎn)移至20奈米節(jié)點或是較大晶圓尺寸?！癸@然較高良率的28奈米制程是Fab 1的優(yōu)先選擇，同時GlobalFoundries將會在該廠區(qū)增加嵌入式記憶體與混合訊號/射頻制程選項，以吸引更多客戶。在2011年，業(yè)界曾傳言AMD因為GlobalFoundries的28奈米良率問題重訂雙方采購協(xié)議，甚至打算尋找其他代工夥伴；不過Wijburg強調(diào)：「問題都已經(jīng)解決了?！?br>在2011年加入GlobalFoundries 的Wijburg過去曾擔任恩智浦半導體(NXP Semiconductors)前段制程業(yè)務(wù)的資深副總裁；他表示，所有的制程技術(shù)轉(zhuǎn)移都會遇到問題，若再伴隨業(yè)務(wù)組織改變，那種「生長痛」是預(yù)期必然發(fā)生的。Wijburg強調(diào)，對GlobalFoundries來說那些黑暗的日子都已經(jīng)過去了，現(xiàn)在該公司不但業(yè)績成長，也贏得了高通(Qualcomm)、意法(STMicroelectronics)等新客戶。
Wijburg進一步指出，事實上在2012下半年，將有超過五成的Fab 1廠產(chǎn)能(目前總產(chǎn)能為每月5萬片初始晶圓)并非是為AMD代工：「我們是一家全球性的晶圓代工廠?！?br>
GlobalFoundries 晶圓廠內(nèi)部揭密
接下來就是參觀晶圓廠了…能有機會進去一座運轉(zhuǎn)中的晶圓廠房并不是很常有的呢！工程經(jīng)理們通常會很擔心這種參訪活動過后，會讓生產(chǎn)線的缺陷率飆升。因此準備參觀的記者們都穿上特別準備的無塵衣、使用無塵室專用的筆記紙，并被交待千萬別碰任何東西，還要小心頭上那些在機臺設(shè)備之間搬運晶圓片的輸送盒。
著裝完成！準備參觀晶圓廠…記者們專注聆聽工程師講解晶片制造過程
無塵室內(nèi)采用黃色的燈光，目的是在晶圓片在機臺之間運輸?shù)倪^程中，將可能影響光阻劑與其它制成的外部能源縮減到最小。通?；谏虡I(yè)機密，晶片制造商很少會讓廠房內(nèi)部的照片曝光，因此本文內(nèi)的照片都是有經(jīng)過GlobalFoundries 審核后才獲得同意刊出的。
擴充中的無塵室；無塵室地面鋪設(shè)了鋼板，是為了分擔陸續(xù)進駐的設(shè)備機臺重量
根據(jù)GlobalFoundries的導覽人員表示，尚在擴建的無塵室看起來比較空，但已經(jīng)有部分機臺準備就緒、可進行量產(chǎn)，不過還有部分機臺還在進行測試。下圖則是量產(chǎn)的12寸晶圓片。
12寸晶圓片
Fab 1內(nèi)的5個無塵室之間都有空橋連接。
連接無塵室的空橋
參觀活動結(jié)束之后，記者們獲得了身上穿的無塵衣、手套、頭套以及口罩當作紀念品帶回家；離開無塵室之前，筆者還剛好遇到了編號001的晶圓搬運盒從頭上經(jīng)過，很幸運吧！
編號001的晶圓搬運盒
編譯：Judith Cheng
（本文作者Peter Clarke為EETimes美國版資深編輯）
參考原文
˙ Slideshow: GlobalFoundries in Dresden(Peter Clarke)
˙ Dresden fab could host 20-nm process, 450-mm wafers(Peter Clarke)
德勒斯登的Frauenkirche 圣母堂
20分鐘的車程到達 GlobalFoundries 的 Fab 1廠區(qū)；該廠區(qū)過去是AMD的Fab 30與Fab 36所在地，于1996年動土，在1999年啟用首個8寸晶圓無塵室。目前Fab 1是GlobalFoundries 的 12寸晶圓生產(chǎn)線所在；親自接待媒體的該公司副總裁暨Fab 1總經(jīng)理Rutger Wijburg表示，該廠未來可支援 20奈米制程節(jié)點、 18寸晶圓生產(chǎn)。
Fab 1是歐洲規(guī)模最大也是最先進的晶圓廠，但是與GlobalFoundries位于美國紐約州Malta即將上線的20奈米、12寸晶圓廠相較還是稍嫌遜色。目前Fab 1正在進行一項投資金額達30億美元的升級計劃，未來可達到每月8萬片12寸初始晶圓、或是每年100萬片初始晶圓的產(chǎn)能。在該廠房擴建計劃下，自2011年中起，就陸續(xù)有設(shè)備進駐一個面積達1萬2,000平方英尺的無塵室；據(jù)了解，該計劃將將持續(xù)「依需求」進行至2014年。
目前的GlobalFoundries Fab 1廠區(qū)配置圖
Wijburg 明確表示，德勒斯登廠區(qū)不會變成趕不上先進制程腳步的「夕陽晶圓廠」，不過目前也還未決定要升級至20奈米制程；而他認為Fab 1終究可以證明其價值，贏得公司高層的信心票，就像英特爾(Intel)位于愛爾蘭都柏林的Leixlip廠房那樣。英特爾的Leixlip廠區(qū)目前也是采用較舊的晶圓制程，但最近獲得10億美元的投資，將設(shè)置14奈米制程節(jié)點的設(shè)備。
Wijburg 表示：「我們一開始會采用28奈米節(jié)點，接下來可轉(zhuǎn)移至20奈米節(jié)點或是較大晶圓尺寸?！癸@然較高良率的28奈米制程是Fab 1的優(yōu)先選擇，同時GlobalFoundries將會在該廠區(qū)增加嵌入式記憶體與混合訊號/射頻制程選項，以吸引更多客戶。在2011年，業(yè)界曾傳言AMD因為GlobalFoundries的28奈米良率問題重訂雙方采購協(xié)議，甚至打算尋找其他代工夥伴；不過Wijburg強調(diào)：「問題都已經(jīng)解決了?！?br>在2011年加入GlobalFoundries 的Wijburg過去曾擔任恩智浦半導體(NXP Semiconductors)前段制程業(yè)務(wù)的資深副總裁；他表示，所有的制程技術(shù)轉(zhuǎn)移都會遇到問題，若再伴隨業(yè)務(wù)組織改變，那種「生長痛」是預(yù)期必然發(fā)生的。Wijburg強調(diào)，對GlobalFoundries來說那些黑暗的日子都已經(jīng)過去了，現(xiàn)在該公司不但業(yè)績成長，也贏得了高通(Qualcomm)、意法(STMicroelectronics)等新客戶。
Wijburg進一步指出，事實上在2012下半年，將有超過五成的Fab 1廠產(chǎn)能(目前總產(chǎn)能為每月5萬片初始晶圓)并非是為AMD代工：「我們是一家全球性的晶圓代工廠?！?br>
GlobalFoundries 晶圓廠內(nèi)部揭密
接下來就是參觀晶圓廠了…能有機會進去一座運轉(zhuǎn)中的晶圓廠房并不是很常有的呢！工程經(jīng)理們通常會很擔心這種參訪活動過后，會讓生產(chǎn)線的缺陷率飆升。因此準備參觀的記者們都穿上特別準備的無塵衣、使用無塵室專用的筆記紙，并被交待千萬別碰任何東西，還要小心頭上那些在機臺設(shè)備之間搬運晶圓片的輸送盒。
著裝完成！準備參觀晶圓廠…記者們專注聆聽工程師講解晶片制造過程
無塵室內(nèi)采用黃色的燈光，目的是在晶圓片在機臺之間運輸?shù)倪^程中，將可能影響光阻劑與其它制成的外部能源縮減到最小。通?；谏虡I(yè)機密，晶片制造商很少會讓廠房內(nèi)部的照片曝光，因此本文內(nèi)的照片都是有經(jīng)過GlobalFoundries 審核后才獲得同意刊出的。
擴充中的無塵室；無塵室地面鋪設(shè)了鋼板，是為了分擔陸續(xù)進駐的設(shè)備機臺重量
根據(jù)GlobalFoundries的導覽人員表示，尚在擴建的無塵室看起來比較空，但已經(jīng)有部分機臺準備就緒、可進行量產(chǎn)，不過還有部分機臺還在進行測試。下圖則是量產(chǎn)的12寸晶圓片。
12寸晶圓片
Fab 1內(nèi)的5個無塵室之間都有空橋連接。
連接無塵室的空橋
參觀活動結(jié)束之后，記者們獲得了身上穿的無塵衣、手套、頭套以及口罩當作紀念品帶回家；離開無塵室之前，筆者還剛好遇到了編號001的晶圓搬運盒從頭上經(jīng)過，很幸運吧！
編號001的晶圓搬運盒
編譯：Judith Cheng
（本文作者Peter Clarke為EETimes美國版資深編輯）
參考原文
˙ Slideshow: GlobalFoundries in Dresden(Peter Clarke)
˙ Dresden fab could host 20-nm process, 450-mm wafers(Peter Clarke)
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