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[導(dǎo)讀]【日經(jīng)BP社報道】美國GLOBALFOUNDRIES公司于2012年4月26日(美國時間)宣布,可在20nm工藝半導(dǎo)體晶圓上形成TSV(through-silicon via,硅通孔)的生產(chǎn)設(shè)備,已開始在該公司位于美國紐約州薩拉托加郡(Saratoga)的生

【日經(jīng)BP社報道】美國GLOBALFOUNDRIES公司于2012年4月26日(美國時間)宣布,可在20nm工藝半導(dǎo)體晶圓上形成TSV(through-silicon via,硅通孔)的生產(chǎn)設(shè)備,已開始在該公司位于美國紐約州薩拉托加郡(Saratoga)的生產(chǎn)線“Fab 8”上采用(英文發(fā)布資料)。據(jù)稱,利用TSV技術(shù)可對新一代移動產(chǎn)品及消費(fèi)類產(chǎn)品用的三維芯片實現(xiàn)積層。

TSV是將硅晶圓在垂直方向蝕刻,并埋入銅的技術(shù)。利用TSV技術(shù)可在積層的芯片間實現(xiàn)三維方向的信號傳遞。例如,可通過采用該技術(shù)在應(yīng)用處理器上積層存儲器芯片,可在使存儲器數(shù)據(jù)傳輸速度飛躍提高的同時大幅降低耗電量,滿足智能手機(jī)和平板終端所要求的條件。

GLOBALFOUNDRIES公司首席技術(shù)官(CTO)Gregg Bartlett表示,“為了應(yīng)對新的硅技術(shù)節(jié)點(diǎn),我們很早就已開始與合作伙伴共同開發(fā)有望在業(yè)界催生下一波技術(shù)革新的全新封裝解決方案。我們的方案范圍廣且具有共同性,在可向用戶提供最大限度的選擇權(quán)和靈活性的同時,還能降低成本、縮短產(chǎn)品的市場投放時間、減小伴隨新技術(shù)開發(fā)的技術(shù)風(fēng)險。通過在Fab 8采用20nm工藝TSV技術(shù),我們將與涵蓋從設(shè)計到組裝以至測試整個半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)中的眾多公司,建立共同開發(fā)及制造合作關(guān)系,由此可具備完全滿足新一代元件高端要求的能力”。

GLOBALFOUNDRIES公司的Fab 8是美國國內(nèi)規(guī)模最大的尖端代工工廠。瞄準(zhǔn)的是32/28nm及以后工藝,目前正在推進(jìn)開發(fā)20nm工藝。計劃從2012年第三季度開始制造采用TSV技術(shù)的首批硅芯片產(chǎn)品

Fab 8的外觀(2011年夏季的情況,摘自該公司的Web網(wǎng)站)
Fab 8的潔凈室(2011年夏季的情況,摘自該公司的Web網(wǎng)站


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