[導(dǎo)讀]12月初，在冷氣團(tuán)來襲的13度低溫下，臺積電董事長張忠謀親自出席位在臺中科學(xué)園區(qū)的晶圓15廠第三期動土典禮。這座擁有20奈米制程能力的超大型12寸晶圓廠，除了將提供與三星正面對決的關(guān)鍵產(chǎn)能，導(dǎo)入多項(xiàng)污染防治設(shè)施
12月初，在冷氣團(tuán)來襲的13度低溫下，臺積電董事長張忠謀親自出席位在臺中科學(xué)園區(qū)的晶圓15廠第三期動土典禮。這座擁有20奈米制程能力的超大型12寸晶圓廠，除了將提供與三星正面對決的關(guān)鍵產(chǎn)能，導(dǎo)入多項(xiàng)污染防治設(shè)施與綠色節(jié)能概念的設(shè)計(jì)，也是臺積電落實(shí)企業(yè)社會責(zé)任的重要作為。
攤開臺積電這幾年來在綠色作為方面的表現(xiàn)，從工廠綠建筑、綠色供應(yīng)鏈、綠色課程或論壇，甚至正在擘畫的綠色科技園區(qū)等，臺積電皆投入了大量的人力與物力，在如此龐大的組織里，積極整合跨部門資源來推動。
雖然是高科技產(chǎn)業(yè)，但在晶圓制造過程中，其實(shí)有相當(dāng)程度的耗能產(chǎn)生，因此在15廠動土興建之前，臺積電早已拿下多項(xiàng)臺灣EEWH鉆石級及美國LEED黃金級綠建筑認(rèn)證。其中特色包括：打造廠區(qū)周圍生態(tài)水池，在旁邊種植原生地植物；可大幅吸熱、種了許多植被的綠屋頂；設(shè)置良好的雨水回收系統(tǒng)至地底下，進(jìn)行水循環(huán)再利用；太陽能與風(fēng)力的發(fā)電供給；室內(nèi)綠美化的大型植生墻；以及每個員工座位上皆有自己的燈源開關(guān)，不在座位上就能把燈關(guān)掉等。
因?yàn)檫@些努力，張忠謀在2011年9月還獲頒國際半導(dǎo)體設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）之半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綠色管理Akira Inoue獎的肯定。SEMI方面指出，臺積電在去年產(chǎn)能屢創(chuàng)歷史新高的情形下，仍順利達(dá)成減少WSC溫室氣體（PFC）自愿減量的目標(biāo)。
臺積電新廠規(guī)劃暨工程處處長莊子壽表示，晶圓制程常需要用到大量水資源進(jìn)行清洗化學(xué)藥劑及機(jī)械研磨的制程，另外為了確保室內(nèi)恒溫，公用空調(diào)系統(tǒng)也需要大量的水來協(xié)助循環(huán)，算起來，平均每廠每日的水用量達(dá)數(shù)千噸之多。因此對臺積電來說，能夠減少耗能，將過程中產(chǎn)生的廢水再利用，就能降低一部分的成本。這也就意味著獲利的增加。
減少耗能就是增加獲利
之所以能做到廢水回收率超過90％，臺積電厲害在一開始便將制程廢水從源頭，也就是無塵室的設(shè)備機(jī)臺去進(jìn)行分流。總共收集了16種水流經(jīng)各自獨(dú)立管線，運(yùn)送至不同桶槽儲存，再以物理或化學(xué)方式一道道凈化，分離出水中雜質(zhì)。在這些廢水里因?yàn)楹性S多廢酸，臺積電除了可將里頭九種高濃度的酸二次處理后賣掉賺錢外，部分也可拿來再循環(huán)利用。
莊子壽驕傲地說，這可是臺積電工程師靠著十幾年經(jīng)驗(yàn)，慢慢琢磨出來的方法?！竸傞_始我們找廠商進(jìn)來幫我們做水質(zhì)分析，提出改善，但因?yàn)橛行┧幚硗炅说迷倩氐街瞥汤锶?，所以我們并非只是處理至一般ppm（污染單位分類，為一百萬分之一）排放標(biāo)準(zhǔn)而已，甚至處理到ppb（十億分之一）及ppt（一兆分之一）的最高等級，讓污染物降至極低。」到目前為止，臺積電一年就可省下3466萬噸的用水量，換算下來，相當(dāng)于整座新竹寶山水庫的蓄水量，全年竟能省下高達(dá)4億元的水費(fèi)。
在省能方面，無塵室廢氣回收則是臺積電在蓋綠建筑時的另一番創(chuàng)新。因?yàn)樵诰A生產(chǎn)環(huán)境里，對空氣品質(zhì)的要求為高度純凈，因此從無塵室排放出來的空氣經(jīng)過凈化后，其實(shí)仍可使用在一般的室內(nèi)環(huán)境。
因此，臺積電同樣參照了美國綠建筑標(biāo)準(zhǔn)的要求，在十四廠第三期中已規(guī)劃將這些廢氣回收給一般化學(xué)房使用，未來可望成為無塵室空氣標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)之一。莊子壽認(rèn)為，業(yè)界可多發(fā)展廢氣回收技術(shù)，甚至比照水回收機(jī)制，訂定廢氣回收的目標(biāo)。
另外，臺積電采用熱回收系統(tǒng)，將12度C冰水主機(jī)產(chǎn)生的廢熱回收，供35度C的溫水系統(tǒng)使用，免除傳統(tǒng)熱水鍋爐的設(shè)置及耗能，不需固定維修費(fèi)用，平均一個廠每年可省下3200萬度，約5600多萬元的電費(fèi)。藉由熱回收，工廠內(nèi)部排出至戶外的空氣也不會過熱，對周遭環(huán)境來說確實(shí)是件好事。
而加裝變頻器也可減少室內(nèi)的能源消耗，因?yàn)榭扇〈鷤鹘y(tǒng)的馬達(dá)驅(qū)動，依照當(dāng)時制程冷卻水需求的量讓幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)。意思是，要用多少水就靠變頻器打多少幫浦即可。在全部的省電效果里，臺積電靠著導(dǎo)入變頻器的安裝，每年可固定省下13％的電力。
打造綠色供應(yīng)鏈
至于室內(nèi)空調(diào)的雙溫冰水主機(jī)系統(tǒng)，則是經(jīng)過不斷改良，最后設(shè)計(jì)成9度到12度的標(biāo)準(zhǔn)。因無塵室需要嚴(yán)格管控濕度，9度冰機(jī)主要可用來除濕，含水量高的時候可適時發(fā)揮作用，12度冰機(jī)則主要是拿來調(diào)整水的溫度，可把熱水冷卻再輸送到制程使用。透過此雙溫控制，一個廠可年省電力將近1000萬度。
「對于綠色環(huán)保，我們不只規(guī)范自己，也嚴(yán)格要求我們的供應(yīng)商，如果它們的東西出了問題，具有污染性，搞不好連帶會使得我們的產(chǎn)品不能賣，或是違反一些國際法規(guī)，」臺積電風(fēng)險管理暨工安環(huán)保衛(wèi)生處副處長許芳銘表示。
身為采購者的臺積電屬于中間角色，上游有原物
料供應(yīng)商，下游則有封測廠。許芳銘指出，臺積電這三年來不斷要求供應(yīng)商要揭露如碳盤查、碳足跡及有害物質(zhì)等數(shù)據(jù)，像繳交作業(yè)報(bào)告一樣，以做為評估年度供應(yīng)商的標(biāo)準(zhǔn)之一。
例如每年臺積電會在國際供應(yīng)商大會上用問卷做檢討，看看這些供應(yīng)商到底達(dá)成了哪些項(xiàng)目，并會有10％左右的稽核占比，「因?yàn)楸种髽I(yè)社會責(zé)任，所以當(dāng)班長的就要負(fù)責(zé)管好同學(xué)！」許芳銘說。(攝影／林衍億)
攤開臺積電這幾年來在綠色作為方面的表現(xiàn)，從工廠綠建筑、綠色供應(yīng)鏈、綠色課程或論壇，甚至正在擘畫的綠色科技園區(qū)等，臺積電皆投入了大量的人力與物力，在如此龐大的組織里，積極整合跨部門資源來推動。
雖然是高科技產(chǎn)業(yè)，但在晶圓制造過程中，其實(shí)有相當(dāng)程度的耗能產(chǎn)生，因此在15廠動土興建之前，臺積電早已拿下多項(xiàng)臺灣EEWH鉆石級及美國LEED黃金級綠建筑認(rèn)證。其中特色包括：打造廠區(qū)周圍生態(tài)水池，在旁邊種植原生地植物；可大幅吸熱、種了許多植被的綠屋頂；設(shè)置良好的雨水回收系統(tǒng)至地底下，進(jìn)行水循環(huán)再利用；太陽能與風(fēng)力的發(fā)電供給；室內(nèi)綠美化的大型植生墻；以及每個員工座位上皆有自己的燈源開關(guān)，不在座位上就能把燈關(guān)掉等。
因?yàn)檫@些努力，張忠謀在2011年9月還獲頒國際半導(dǎo)體設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）之半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綠色管理Akira Inoue獎的肯定。SEMI方面指出，臺積電在去年產(chǎn)能屢創(chuàng)歷史新高的情形下，仍順利達(dá)成減少WSC溫室氣體（PFC）自愿減量的目標(biāo)。
臺積電新廠規(guī)劃暨工程處處長莊子壽表示，晶圓制程常需要用到大量水資源進(jìn)行清洗化學(xué)藥劑及機(jī)械研磨的制程，另外為了確保室內(nèi)恒溫，公用空調(diào)系統(tǒng)也需要大量的水來協(xié)助循環(huán)，算起來，平均每廠每日的水用量達(dá)數(shù)千噸之多。因此對臺積電來說，能夠減少耗能，將過程中產(chǎn)生的廢水再利用，就能降低一部分的成本。這也就意味著獲利的增加。
減少耗能就是增加獲利
之所以能做到廢水回收率超過90％，臺積電厲害在一開始便將制程廢水從源頭，也就是無塵室的設(shè)備機(jī)臺去進(jìn)行分流。總共收集了16種水流經(jīng)各自獨(dú)立管線，運(yùn)送至不同桶槽儲存，再以物理或化學(xué)方式一道道凈化，分離出水中雜質(zhì)。在這些廢水里因?yàn)楹性S多廢酸，臺積電除了可將里頭九種高濃度的酸二次處理后賣掉賺錢外，部分也可拿來再循環(huán)利用。
莊子壽驕傲地說，這可是臺積電工程師靠著十幾年經(jīng)驗(yàn)，慢慢琢磨出來的方法?！竸傞_始我們找廠商進(jìn)來幫我們做水質(zhì)分析，提出改善，但因?yàn)橛行┧幚硗炅说迷倩氐街瞥汤锶?，所以我們并非只是處理至一般ppm（污染單位分類，為一百萬分之一）排放標(biāo)準(zhǔn)而已，甚至處理到ppb（十億分之一）及ppt（一兆分之一）的最高等級，讓污染物降至極低。」到目前為止，臺積電一年就可省下3466萬噸的用水量，換算下來，相當(dāng)于整座新竹寶山水庫的蓄水量，全年竟能省下高達(dá)4億元的水費(fèi)。
在省能方面，無塵室廢氣回收則是臺積電在蓋綠建筑時的另一番創(chuàng)新。因?yàn)樵诰A生產(chǎn)環(huán)境里，對空氣品質(zhì)的要求為高度純凈，因此從無塵室排放出來的空氣經(jīng)過凈化后，其實(shí)仍可使用在一般的室內(nèi)環(huán)境。
因此，臺積電同樣參照了美國綠建筑標(biāo)準(zhǔn)的要求，在十四廠第三期中已規(guī)劃將這些廢氣回收給一般化學(xué)房使用，未來可望成為無塵室空氣標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)之一。莊子壽認(rèn)為，業(yè)界可多發(fā)展廢氣回收技術(shù)，甚至比照水回收機(jī)制，訂定廢氣回收的目標(biāo)。
另外，臺積電采用熱回收系統(tǒng)，將12度C冰水主機(jī)產(chǎn)生的廢熱回收，供35度C的溫水系統(tǒng)使用，免除傳統(tǒng)熱水鍋爐的設(shè)置及耗能，不需固定維修費(fèi)用，平均一個廠每年可省下3200萬度，約5600多萬元的電費(fèi)。藉由熱回收，工廠內(nèi)部排出至戶外的空氣也不會過熱，對周遭環(huán)境來說確實(shí)是件好事。
而加裝變頻器也可減少室內(nèi)的能源消耗，因?yàn)榭扇〈鷤鹘y(tǒng)的馬達(dá)驅(qū)動，依照當(dāng)時制程冷卻水需求的量讓幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)。意思是，要用多少水就靠變頻器打多少幫浦即可。在全部的省電效果里，臺積電靠著導(dǎo)入變頻器的安裝，每年可固定省下13％的電力。
打造綠色供應(yīng)鏈
至于室內(nèi)空調(diào)的雙溫冰水主機(jī)系統(tǒng)，則是經(jīng)過不斷改良，最后設(shè)計(jì)成9度到12度的標(biāo)準(zhǔn)。因無塵室需要嚴(yán)格管控濕度，9度冰機(jī)主要可用來除濕，含水量高的時候可適時發(fā)揮作用，12度冰機(jī)則主要是拿來調(diào)整水的溫度，可把熱水冷卻再輸送到制程使用。透過此雙溫控制，一個廠可年省電力將近1000萬度。
「對于綠色環(huán)保，我們不只規(guī)范自己，也嚴(yán)格要求我們的供應(yīng)商，如果它們的東西出了問題，具有污染性，搞不好連帶會使得我們的產(chǎn)品不能賣，或是違反一些國際法規(guī)，」臺積電風(fēng)險管理暨工安環(huán)保衛(wèi)生處副處長許芳銘表示。
身為采購者的臺積電屬于中間角色，上游有原物
料供應(yīng)商，下游則有封測廠。許芳銘指出，臺積電這三年來不斷要求供應(yīng)商要揭露如碳盤查、碳足跡及有害物質(zhì)等數(shù)據(jù)，像繳交作業(yè)報(bào)告一樣，以做為評估年度供應(yīng)商的標(biāo)準(zhǔn)之一。
例如每年臺積電會在國際供應(yīng)商大會上用問卷做檢討，看看這些供應(yīng)商到底達(dá)成了哪些項(xiàng)目，并會有10％左右的稽核占比，「因?yàn)楸种髽I(yè)社會責(zé)任，所以當(dāng)班長的就要負(fù)責(zé)管好同學(xué)！」許芳銘說。(攝影／林衍億)
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