興研的“FLOORKOACHE Ez”在會(huì)場(chǎng)上實(shí)現(xiàn)1級(jí)無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)

實(shí)現(xiàn)了1級(jí)無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)（點(diǎn)擊放大）

氣流的直進(jìn)性高（點(diǎn)擊放大）
只在周?chē)O(shè)置簡(jiǎn)易防風(fēng)墻等即可實(shí)現(xiàn)無(wú)塵室的“FLOORKOACHE Ez”達(dá)到1級(jí)無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)，興研在“Semicon Japan 2011”（2011年12月7～9日，幕張MESSE國(guó)際會(huì)展中心）會(huì)場(chǎng)上演示了1級(jí)無(wú)塵室。該公司在以前的Semicon會(huì)議上也展示過(guò)FLOORKOACHE Ez，但此次以達(dá)到1級(jí)無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)為契機(jī)，決定在會(huì)場(chǎng)上設(shè)置特大規(guī)模的無(wú)塵室以作宣傳。

半導(dǎo)體生產(chǎn)線的無(wú)塵室通常采用令空氣從房間上部向下部流動(dòng)的垂直層流方式，設(shè)置用于向房間上部輸送空氣的風(fēng)扇和過(guò)濾空氣污物的濾網(wǎng)，而且為了防止前后左右的墻壁面上產(chǎn)生的污物進(jìn)入重直層流，還要注意壁面材料的選擇。因此，無(wú)塵室設(shè)置大多需要花費(fèi)數(shù)十億日元。

而FLOORKOACHE Ez可以橫向壓出的氣流來(lái)實(shí)現(xiàn)無(wú)塵環(huán)境。而且，據(jù)稱(chēng)該氣流的直進(jìn)性極高，因此壁面產(chǎn)生的污物等不易進(jìn)入氣流，因而無(wú)需對(duì)壁面采取特殊措施。具體而言，在前后左右四面中的一面設(shè)置FLOORKOACHE Ez，在左右面和上面設(shè)置簡(jiǎn)易墻壁及天花板，防止打亂氣流的風(fēng)等進(jìn)入，并配備可使氣流從對(duì)抵抗面的兩側(cè)等排出的設(shè)施，便可實(shí)現(xiàn)無(wú)塵環(huán)境。實(shí)際上，會(huì)場(chǎng)上的無(wú)塵室是通過(guò)在金屬架上粘貼克力板之類(lèi)的透明板構(gòu)成墻壁及天花板的。這樣便可低成本實(shí)現(xiàn)無(wú)尖室，比如能夠用6500萬(wàn)日元將7m×20m×2.7m的空間打造成無(wú)塵室。而且設(shè)置工期也只需不到一周時(shí)間。

此次能夠?qū)o(wú)塵級(jí)別從原來(lái)的5級(jí)提高到1級(jí)，是因?yàn)殚_(kāi)發(fā)出了名為“FERENA-ZE”的濾網(wǎng)組件。據(jù)介紹該濾網(wǎng)同時(shí)實(shí)現(xiàn)了與HEPA濾網(wǎng)相當(dāng)?shù)膲簱p和與ULPA比肩的捕集性能。通過(guò)在FLOORKOACHE Ez中采用該濾網(wǎng)，實(shí)現(xiàn)了1級(jí)無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)。為了開(kāi)發(fā)該濾網(wǎng)，興研使用了稱(chēng)為“靜電紡絲（Electrospinning）”的技術(shù)。（記者：長(zhǎng)廣 恭明，Tech-On！）