日本Roper上市用于半導體制造裝置檢查等的低噪聲高速相機

時間：2010-11-29 06:19:00

關鍵字：低噪聲相機半導體制造紫外線

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[導讀]日本Roper（總部東京）價格降至原產品60％且噪聲降至1/10的EMCCD相機“Rolera em-c2”系列，2010年11月26日開始上市。EMCCD是具有電子倍增功能的CCD，可在抑制噪聲產生的同時放大輸出信號。Rolera em-c2由以可見光拍

日本Roper（總部東京）價格降至原產品60％且噪聲降至1/10的EMCCD相機“Rolera em-c2”系列，2010年11月26日開始上市。EMCCD是具有電子倍增功能的CCD，可在抑制噪聲產生的同時放大輸出信號。Rolera em-c2由以可見光拍攝的“標準版”，和可捕捉波長為200～300nm的真空紫外線范圍光線的“遠紫外線（Deep UV）版”，后者主要用于半導體制造裝置和太陽能發(fā)電面板制造裝置的檢查等。

該相機的特點是配備了無需對EM增益（放大信號）與噪聲比作繁雜調整的“Easy-EM 模式”，可輕松拍攝高S/N比的圖像。如果選配利用安裝RGB液晶彩色濾光片的“EM-RGB 模式”，“可獲得與3CCD相機相同的色彩表現(xiàn)性和靈敏度”（日本Roper），還能用來拍攝生物化學實驗等中使用的微弱熒光發(fā)光。幀率在分辨率為1004×1002的全像素時為34.2fps。價格方面，標準版為298萬日元（不含稅）起，遠紫外線版為328萬日元（不含稅）起。（記者：吉田勝）

降低了價格和噪聲的工業(yè)用相機“Rorela em-c2” （點擊放大）
咨詢處：日本Roper
電話：+81-03-5639-2731
URL：http://www.roper.co.jp/lifescience/