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[導(dǎo)讀]今年以來幾乎也沒有聽到有關(guān)任何450mm硅片進(jìn)展的報(bào)道,雖然有些純?nèi)皇菆?bào)道,也可能是傳聞,但是可以相信從技術(shù)上450mm仍在進(jìn)步。在近期舉行的美國半導(dǎo)體展覽會上,大部分設(shè)備制造商仍是表示由于技術(shù)太貴,所以過渡到

今年以來幾乎也沒有聽到有關(guān)任何450mm硅片進(jìn)展的報(bào)道,雖然有些純?nèi)皇菆?bào)道,也可能是傳聞,但是可以相信從技術(shù)上450mm仍在進(jìn)步。在近期舉行的美國半導(dǎo)體展覽會上,大部分設(shè)備制造商仍是表示由于技術(shù)太貴,所以過渡到下一代450mm硅片還不是時(shí)候。

除了那些不切實(shí)際的報(bào)道之外,在450mm進(jìn)展中也有一些突破。一種在產(chǎn)業(yè)與設(shè)備制造商之間新的成本分擔(dān)計(jì)劃開始呈現(xiàn),它可能加快 450mm硅片推向市場。其中如SEMI近期又公布一些新的450mm標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)業(yè)界的目標(biāo)是建立一套450mm硅片的供應(yīng)鏈,這是領(lǐng)導(dǎo)450mm硅片的國際Sematech協(xié)會中芯片制造部副總裁ScottKramer的說法。一家從事設(shè)備自動化的公司CrossingAutomationInc的執(zhí)行總裁BobMacKnight認(rèn)為,從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體上考慮,450mm硅片有一定必要性。KLATencor的市場部總經(jīng)理BrainTrafas認(rèn)為,盡管至此還未收到450mm設(shè)備的訂單,但是從它的感覺在未來1-2個(gè)季度內(nèi)會有大的突破。

Trafas還不能透露所謂真正的突破究竟是什么?有人懷疑可能是intel,它要公布它的450mm引導(dǎo)線項(xiàng)目計(jì)劃。而有些人認(rèn)為這僅是另一個(gè)迷人的謊言,450mm硅片可能要繼續(xù)推遲。

近時(shí)期來,由于研發(fā)費(fèi)用太高,設(shè)備制造商實(shí)際上已經(jīng)停止該項(xiàng)目的進(jìn)展?,F(xiàn)在大多數(shù)人確信有三家公司,Intel、TSMC及Samsung 正在努力推動設(shè)備制造商向下一代設(shè)備過渡。對于這些設(shè)備制造商似乎別無選擇,因?yàn)檫@三家是全球最大的投資商。

三家公司曾表示在2012年將推進(jìn)450mm引導(dǎo)線的建設(shè),有些人認(rèn)為450mm量產(chǎn)在2015年,甚至有人認(rèn)為在2018年。但也有部分人相信由于研發(fā)成本太高,450mm生產(chǎn)線根本不可能會發(fā)生。

無人愿意負(fù)擔(dān)高額的設(shè)備研發(fā)費(fèi)用,到今天甚至連抬轎子的也不多見,然而國際Sematech正在推動與設(shè)備制造商共同發(fā)起的新的成本分擔(dān)計(jì)劃,目的是加快450mm硅片的進(jìn)程。

按芯片制造部的報(bào)道,囯際Sematech(ISMI)正接受來自工藝和計(jì)量設(shè)備制造商關(guān)于450mm設(shè)備過渡計(jì)劃的建議書,它將作為 ISMI的成本分擔(dān)計(jì)劃中的一部分。我們要理解這些公司為實(shí)現(xiàn)向450mm過渡而帶來的標(biāo)準(zhǔn),技術(shù)及商業(yè)上的挑戰(zhàn)。

近年來Sematech已經(jīng)對于450mm設(shè)備及生產(chǎn)線方面作了許多工作,并清晰的給予它們定義。緊迫的事如何讓設(shè)備制造商能參與進(jìn)來。在 SEMICONWest 上與Kramer談到,目前協(xié)會的芯片制造部并未透露那些設(shè)備與材料供應(yīng)商已經(jīng)加入450mm計(jì)劃,其中有些即便參與也可能是比較勉強(qiáng)。

國際Sematech的450mm項(xiàng)目經(jīng)理TomJefferson談到,之前所謂的450mm設(shè)備開發(fā)實(shí)際上近乎“零”,從現(xiàn)在起可能才會有人加入。

KLATencor的Trafas認(rèn)為,目前有關(guān)450mm的標(biāo)準(zhǔn)公布的很少,只有當(dāng)那一家芯片制造商宣布開始450mm引導(dǎo)線及準(zhǔn)備采用那類工藝技術(shù)時(shí)才可認(rèn)為是真正的啟步。因?yàn)橹挥腥绱俗鳛樵O(shè)備制造商才能落實(shí)設(shè)備的要求及指標(biāo)。

按Semico分析師最新的報(bào)告,在任何情況下爭論可能來自技術(shù)方面。目前來看半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)總有一天會釆用450mm的可能性越來越大。盡管離開初時(shí)曾制定的目標(biāo)在2012年開始量產(chǎn)的目標(biāo)尚比較遙遠(yuǎn)。

按照VLSI研究公司的說法,也坦誠存在另一種觀點(diǎn),認(rèn)為由于成本等因素未來向450mm芯片生產(chǎn)線過渡仍是沒有時(shí)間表。按公司估計(jì)至少目前為發(fā)展450mm設(shè)備需要10億美元來開發(fā)早期設(shè)備樣品的資金,對于協(xié)會來說尚無法落實(shí)。

國際Sematech正積極地采取各種方法希望在2012年能加快實(shí)現(xiàn)450mm硅片的引導(dǎo)線項(xiàng)目。近期協(xié)會中的芯片制造部在德州 Austin的450mm引導(dǎo)線的潔凈廠房中正在安裝部分最先能提供的450mm設(shè)備,包括一些測量及濕法清洗設(shè)備,并希望盡快的進(jìn)入測試硅片階段。

Sematech首次披露,450mm試制線中利用BrooksAutomation的傳輸設(shè)備handlers及EntegrisInc 的片盒。日本的礦業(yè)&金屬公司宣稱己能提供450mm多晶硅片

在今年的設(shè)備制造商會上,Sematech作了報(bào)告,并重申要實(shí)現(xiàn)450mm的目標(biāo)。

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