Peter Wolters創(chuàng)新的硅晶圓研磨技術(shù)生產(chǎn)五倍平坦的晶圓

Peter Wolters GmbH為高精密度表面拋光系統(tǒng)的領(lǐng)先制造商，是諾發(fā)系統(tǒng)的全資子公司，其日前宣布開(kāi)發(fā)采用AC2000 雙面拋光系統(tǒng)的創(chuàng)新行星式研磨 (PPG ?) 技術(shù)。以 PPG 技術(shù)制造的硅晶圓比使用其他研磨技術(shù)平坦五倍，相較于常規(guī)研磨技術(shù)，甚至可改善高達(dá)三倍之誤差值。

于半導(dǎo)體制程中，縮小組件尺寸與先進(jìn)的光刻波長(zhǎng)，能讓薄化晶圓(tighter wafer)的平坦度和誤差值作為硅晶圓使用。用于將硅元素轉(zhuǎn)換為生產(chǎn)晶圓(prime wafers)的其中步驟之一：鋸切步驟的硅鑄塊會(huì)影響低質(zhì)量晶體表面層的去除。直到現(xiàn)在，若要移除此下方的晶體層仍使用研磨或高速杯形砂輪研磨技術(shù)。然而，表面的磨損與平坦度問(wèn)題是此兩種技術(shù)的明顯缺點(diǎn)。 研磨技術(shù)造成由硅晶圓表面延伸到晶體結(jié)構(gòu)大于 20 微米，形成相對(duì)較嚴(yán)重的誤差；杯形砂輪研磨技術(shù)的最終平坦度是可獲得的，這是由于彎磨輪和晶圓之間的接觸區(qū)域會(huì)產(chǎn)生已知螺旋表面，并與一個(gè)不良的中心圖形而受到限制。另外，誤差值與平坦度的問(wèn)題，也會(huì)造成研磨技術(shù)與杯形砂輪研磨方法使用于32奈米，及更精密的技術(shù)時(shí)之限制。

在生產(chǎn)超平晶圓時(shí)的雙面拋光過(guò)程中，硅晶圓拋光技術(shù)已用于研磨技術(shù)的行星式動(dòng)作(planetary motion)一段時(shí)間。然而這種技術(shù)轉(zhuǎn)移到研磨步驟上也存在問(wèn)題和困難。

Peter Wolters的工程師開(kāi)發(fā)出名為 PPG的新晶圓研磨技術(shù)，其提供了業(yè)界衡量晶圓平坦度與誤差值之標(biāo)準(zhǔn)。 根據(jù)經(jīng)驗(yàn)證的 AC2000 系統(tǒng)的行星式動(dòng)作(planetary wafer motion)、雙面拋光和固定式研磨墊可同時(shí)用于處理晶圓雙面。Peter Wolters 的PPG 技術(shù)， 加上該公司的專利Upper Platen Adaptive Control (UPAC ?)，消除了常見(jiàn)的研磨和杯狀砂輪研磨制程的問(wèn)題與限制。 這種創(chuàng)新的處理方法將GBIR降至500奈米，SFQR降至 100奈米，并超過(guò) 22奈米技術(shù)的要求。其芯片平坦度甚至五倍優(yōu)于其它芯片研磨方法，相較常規(guī)研磨技術(shù)，誤差值亦可達(dá)到三倍之改善。 這個(gè)獨(dú)特的研磨技術(shù)的另一個(gè)好處是，單一硅晶棒能夠產(chǎn)生更多晶圓片。Peter Wolters的PPG 技術(shù)可于制程中去除較少的硅，主因在于相較于研磨，期能降低次表面硅的傷害 ，而相較于杯狀砂輪研磨則有較佳的平坦度控制。由于在PPG 研磨階段有較少的硅被去除，因此起始的晶圓可以更薄，故于2000毫米長(zhǎng)錠可多生產(chǎn)20片300 毫米的原始芯片。

諾發(fā)系統(tǒng)工業(yè)應(yīng)用部門執(zhí)行副總裁Kay Petersen 指出:「Peter Wolters 新的行星式研磨技術(shù)非常適合對(duì)平坦度有高要求的制程，如32奈米及其他更精密的技術(shù)。而在 AC2000 系統(tǒng)上，PPG技術(shù)與 UPAC 過(guò)程控制技術(shù)的結(jié)合，使得我們可以同時(shí)提供良好的表面平坦度與低硅損傷。」 關(guān)于Peter Wolters Peter Wolters公司為設(shè)備大廠諾發(fā)系統(tǒng)工業(yè)應(yīng)用集團(tuán)的一份子，是高精密度表面拋光系統(tǒng)領(lǐng)先的制造商，產(chǎn)品主軸是拋光微電子、微光學(xué)和微機(jī)械裝置的硅基板 (例如硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、碳化和其他材料)。目前Peter Wolters總部位于德國(guó)倫茲堡。欲了解更多訊息，請(qǐng)瀏覽www.peter-wolters.com。

關(guān)于諾發(fā)系統(tǒng)諾發(fā)系統(tǒng)是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中領(lǐng)先的先進(jìn)制程工藝設(shè)備供應(yīng)者。該公司產(chǎn)品支持的創(chuàng)新技術(shù)及提供信賴生產(chǎn)力為客戶創(chuàng)造價(jià)值。是標(biāo)準(zhǔn)普爾500 (S&P 500)強(qiáng)公司之一，諾發(fā)系統(tǒng)的總部設(shè)在加州圣荷西，其附屬辦事處遍布全球。欲了解更多訊息，請(qǐng)瀏覽http://www.novellus.com /technews.aspx.。