Air Liquide將為中芯國(guó)際深圳晶圓廠供氣
中芯國(guó)際選擇了Air Liquide作為長(zhǎng)期氣體供應(yīng)商,為其2010年初投產(chǎn)的深圳200mm和300mm晶圓廠供應(yīng)氣體。Air Liquide將投入1300萬(wàn)美元用于設(shè)施改造以滿足中芯國(guó)際的需求。
“深圳是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重鎮(zhèn),此次新建的晶圓廠是中國(guó)南方首座200mm以上晶圓廠,這對(duì)于中芯國(guó)際和深圳在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的布局戰(zhàn)略都有非常重要的意義?!敝行緡?guó)際副總裁Samuel Tsou說(shuō)道,“我們決定仍然與Air Liquide合作,Air Liquide在全球范圍內(nèi)的專業(yè)服務(wù)為我們提供了良好的幫助。”
根據(jù)條款,Air Liquide將向中芯國(guó)際供應(yīng)氮?dú)?、氧氣、氫氣、氬氣等氣體。
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相關(guān)鏈接(英文):
http://www.fabtech.org/news/_a/air_liquide_to_supply_bulk_and_speciality_gases_to_two_new_smic_fabs/
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