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[導(dǎo)讀] 日前,臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主的發(fā)起了產(chǎn)業(yè)大同盟,其目的在于與三星所大力扶持的周星(Jusung)、Wonik、Eugene等在地設(shè)備商進(jìn)行抗衡。據(jù)業(yè)內(nèi)人士表示,晶圓廠垂直整合重點(diǎn)設(shè)備商,避免技術(shù)外流,已成為時(shí)勢所趨。國內(nèi)科

 日前,臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主的發(fā)起了產(chǎn)業(yè)大同盟,其目的在于與三星所大力扶持的周星(Jusung)、Wonik、Eugene等在地設(shè)備商進(jìn)行抗衡。據(jù)業(yè)內(nèi)人士表示,晶圓廠垂直整合重點(diǎn)設(shè)備商,避免技術(shù)外流,已成為時(shí)勢所趨。

國內(nèi)科技業(yè)過去在高端制程設(shè)備高度仰賴國際設(shè)備大廠,在提供臺(tái)灣廠商設(shè)備與改良時(shí),也將臺(tái)灣的寶貴制程技術(shù)內(nèi)化到所供應(yīng)的設(shè)備之中,這產(chǎn)生日后可能將臺(tái)灣量產(chǎn)技術(shù)泄露給對手的風(fēng)險(xiǎn)。國內(nèi)半導(dǎo)體廠要保持制程領(lǐng)先,應(yīng)先構(gòu)筑對追隨者切入的城墻,政府也有必要對臺(tái)灣在地設(shè)備商提供更多的支持。

政府已著手輔導(dǎo)半導(dǎo)體設(shè)備自主化發(fā)展,并列為國家型計(jì)畫支持的重點(diǎn)項(xiàng)目,其目的是要輔助真正能著力于設(shè)計(jì)、組裝與服務(wù)的設(shè)備公司,只有掌握設(shè)備設(shè)計(jì)開發(fā)的能力才能達(dá)到真正的臺(tái)灣設(shè)備自制率提升。

研制太陽能與IC、面板產(chǎn)業(yè)所需設(shè)備應(yīng)以制程為客制化設(shè)備開發(fā)的導(dǎo)向,這是確保量產(chǎn)優(yōu)勢最重要的一環(huán)。設(shè)備的性能與產(chǎn)能關(guān)乎產(chǎn)品品質(zhì)與生產(chǎn)成本,其中又以物理/化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PVD/CVD;Physical/ChemicalVaporDeposition)是最具關(guān)鍵性,是生產(chǎn)精密元件的基礎(chǔ)制程設(shè)備。

精曜科技投入各種鍍膜設(shè)備與自動(dòng)化量產(chǎn)系統(tǒng)平臺(tái)的開發(fā)及推展,目前產(chǎn)品已獲得產(chǎn)業(yè)龍頭的認(rèn)可與采用,為國內(nèi)僅見。其研發(fā)設(shè)計(jì)與工廠設(shè)于竹科,60多位專業(yè)人員埋首于設(shè)備的開發(fā),建立“以制程為自主設(shè)計(jì)設(shè)備之導(dǎo)向,整合委外的精密機(jī)加工鏈,再進(jìn)行組裝、測試、品質(zhì)檢驗(yàn)與售后服務(wù)”的特有經(jīng)營模式,已突破數(shù)十套CVD設(shè)備銷售,另外在大陸蘇州設(shè)有設(shè)備展示中心,供全球客戶做試樣與驗(yàn)證,已進(jìn)入成長的階段。

異質(zhì)接面(HJT)太陽能電池是首個(gè)被美國能源部認(rèn)可,率先獲得美國電池工廠所采用的項(xiàng)目。精曜科技的PECVD設(shè)備在HJT的制程中,已能成功執(zhí)行8奈米(nm)厚的膜層鍍膜,并達(dá)到最均勻的膜層厚度,超越客戶的需求規(guī)格,具體展現(xiàn)精曜有能力持續(xù)發(fā)展如原子層鍍膜設(shè)備與蝕刻等新應(yīng)用。

該公司初期投入非晶微晶矽薄膜太陽能產(chǎn)業(yè)所需的關(guān)鍵PECVD設(shè)備,當(dāng)時(shí)轉(zhuǎn)換效率已達(dá)12%,建立了優(yōu)良鍍膜的能力與名聲,精曜CVD設(shè)備亦可應(yīng)用于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽電池與N型單晶高效率異質(zhì)接面(HJT)太陽電池等的鍍膜制程,展現(xiàn)優(yōu)越的特性,因此開啟多元化的發(fā)展契機(jī),現(xiàn)與臺(tái)灣二大電池工廠長期密切合作,觸角也延伸至國外。

近年太陽能產(chǎn)業(yè)已朝向與市電平價(jià)(GridParity)的目標(biāo)發(fā)展,產(chǎn)業(yè)逐漸脫離對政府補(bǔ)助的依賴,自由化的市場將促進(jìn)成長的爆發(fā)性。精曜科技行銷處長陳厚模指出“制程差異化、成本降低、效率可持續(xù)提高的HJT產(chǎn)品”為未來業(yè)者勝出太陽能市場的關(guān)鍵點(diǎn)。有鑒于高效率太陽能發(fā)電制造設(shè)備極具潛力,工業(yè)局的“精密機(jī)械工業(yè)發(fā)展推動(dòng)計(jì)畫”,對半導(dǎo)體設(shè)備的“高效率太陽能發(fā)電之制造設(shè)備”,明確指出為潛在發(fā)展產(chǎn)品項(xiàng)目之一。

世界太陽能發(fā)展趨勢已朝向以屋頂發(fā)電為主,美國SolarCity并購新興的賽昂(Silevo)異質(zhì)接面電池工廠之后,已籌劃大手筆建構(gòu)產(chǎn)能高達(dá)1GW的異質(zhì)接面電池工廠,精曜做為高端鍍膜設(shè)備的領(lǐng)頭羊,打進(jìn)國際大廠供應(yīng)鏈,在SolarCity一案,精曜扮演了重要的角色。

SolarCity預(yù)估到2018年時(shí),異質(zhì)接面電池的量產(chǎn)光電轉(zhuǎn)換效率將達(dá)25%,模組生產(chǎn)成本(CoO)將低于40¢/瓦,均化發(fā)電成本(LCOE)則將降到3¢/度。另一方面,部份業(yè)者也高度關(guān)注背接式(IBC)高效電池的發(fā)展,友達(dá)(AUO)之前已投入與美商Sunpower合作在馬來西亞共建IBC電池工廠,但在2014年的PVTaiwan展會(huì)中卻展示出323W的高效異質(zhì)接面模組,效率已達(dá)20%,回推其異質(zhì)接面電池效率應(yīng)已超越21.5%,代表國內(nèi)電池業(yè)者已有企圖發(fā)展異質(zhì)接面電池的量產(chǎn)。

 

臺(tái)灣具有強(qiáng)大的半導(dǎo)體中游產(chǎn)業(yè)鏈,但需要加強(qiáng)上游的自主設(shè)備產(chǎn)業(yè)區(qū)塊,畢竟,設(shè)備是工業(yè)之母,設(shè)備自主是國家競爭力的重要泉源。

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