中關(guān)村集成電路產(chǎn)業(yè)形成完整鏈條

一個5毫米×5毫米小小的芯片中，電路連在一起的總長度大約600－700米；每條線寬為32納米，相當(dāng)于頭發(fā)絲的1/3000；廠房要求每立方英尺的空間中直徑超過0.3微米的顆粒不能超過1000個；集團目前已采購了3億多元的國產(chǎn)設(shè)備和材料……
在國家科技重大專項的組織和實施下，中關(guān)村企業(yè)中芯國際集成電路制造（北京）有限公司（以下簡稱“中芯國際”）的成套工藝已進入國際先進行列，不僅打破了國際壟斷，更推動了我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
在中芯國際帶動下，一條極具競爭力的本土集成電路產(chǎn)業(yè)鏈條正逐漸清晰。
32/28納米成套工藝
明年底具備量產(chǎn)能力
在中芯國際展示廳的沙盤上，一個比現(xiàn)有面積大3倍的廠房赫然出現(xiàn)在眼前。未來，國家重大科技專項中的32/28納米集成電路將在這里實現(xiàn)量產(chǎn)。這是國家重大科技專項中極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝（以下簡稱“02專項”）中的一個組成元素成套工藝。
記者了解到，正在進行的32/28納米成套工藝項目，在“十一五”的成果基礎(chǔ)上進展順利。目前，各個關(guān)鍵工藝研發(fā)已經(jīng)基本完成，估計在今年年底將完成整個基本工藝研發(fā)。明年將開始進入產(chǎn)品工藝研發(fā)，到2013年底可具備批量生產(chǎn)能力。
中芯國際北區(qū)運營資源副總裁趙海軍告訴記者，目前國際上具備生產(chǎn)32/28納米的廠商還不多，只有INTEL、IBM等幾家。
“精度越高，體積越小，就可以實現(xiàn)速度更快、耗電更小、成本也相對更低?！壁w海軍介紹，集成電路產(chǎn)業(yè)，價值體現(xiàn)在廣泛的應(yīng)用里，這改變了人們的生活方式和工作方式。
“每年有幾百億塊集成電路芯片深入到我們生活的方方面面。一臺筆記本電腦有好幾十個、手機里面有二三十個?！壁w海軍告訴記者，大到每秒運算上億次的超級計算機，小到電腦、手機、空調(diào)、電視機，每家都能找到上百個集成電路芯片。
從全球平均來看，芯片在電子整機里面的成本占15%－25%，手機里成本占一半左右。同時，探礦、鉆油、天氣預(yù)報等計算機的應(yīng)用都離不開集成電路芯片。集成電路芯片在信息安全、經(jīng)濟、生活中的位置十分重要，成為了戰(zhàn)略性基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)。這也是芯片被列入國家重大科技專項的原因。
10年提升5個技術(shù)節(jié)點
銷售收入位居全球第四
集成電路制造業(yè)本身對技術(shù)的要求很高，同時對設(shè)備和材料的要求也非常高，為設(shè)計業(yè)提供了產(chǎn)品實現(xiàn)的平臺。因此集成電路制造業(yè)的發(fā)展在客觀上會帶動基礎(chǔ)的設(shè)備和材料業(yè)以及設(shè)計業(yè)的發(fā)展，而設(shè)計、設(shè)備和材料業(yè)的水平是基礎(chǔ)科技能力的標(biāo)志。
據(jù)介紹，中芯國際于2009年起承擔(dān)國家重大科技02專項集成電路65/45/32納米工藝項目?！耙郧岸嗍谴髮Ｔ盒！⒖蒲性核袚?dān)國家科技項目?！壁w海軍認(rèn)為，這是我國科技項目承擔(dān)主體的極大突破。
國家科技重大專項將橄欖枝拋向中芯國際并非偶然。記者了解到，中芯國際2000年成立的時候，當(dāng)時國內(nèi)集成電路制造業(yè)的工藝水平是0.5微米，中芯國際在2001年建成投產(chǎn)的時候直接把工藝水平提升到0.35微米，目前中芯國際已經(jīng)實現(xiàn)65納米技術(shù)大規(guī)模量產(chǎn)，45/40納米技術(shù)也開始量產(chǎn)。
10年間，中芯國際提升了5個技術(shù)節(jié)點，成為國內(nèi)規(guī)模最大、技術(shù)最先進的集成電路代工企業(yè)。
“0.13微米銅工藝技術(shù)在2003年實現(xiàn)量產(chǎn)，為集成電路制造工藝進入納米級奠定了基礎(chǔ)；90納米工藝技術(shù)在2006年實現(xiàn)量產(chǎn)，標(biāo)志著我國的集成電路制造工藝進入納米級；65納米工藝技術(shù)在2009年下半年實現(xiàn)量產(chǎn)，成為我國科技成果產(chǎn)業(yè)化的亮點。”趙海軍說，這些可以看做是中芯國際10年的主要里程碑。
數(shù)據(jù)顯示，2011年中芯國際銷售收入為13.3億美元，位居全球代工企業(yè)第四位。同時，中芯國際每年投入的研發(fā)經(jīng)費占銷售收入的10%以上，目前已累計申請專利超過5000件，2008-2010年專利申請量均位居全國同行業(yè)第一位。

設(shè)立技術(shù)攻關(guān)小組

自主創(chuàng)新打破技術(shù)壟斷

交出這樣的成績單，完全依靠中芯國際的自主創(chuàng)新。據(jù)了解，在集成電路芯片制造領(lǐng)域，國際上一直處于技術(shù)壟斷。用業(yè)內(nèi)前輩的話說，“根本得不到技術(shù)上的任何支持”。

正因如此，中芯國際走過的路并不平坦，遇到過各種技術(shù)瓶頸，但他們堅定的信念，讓我國集成電路制造工藝僅用了短短幾年時間就達(dá)到了國外用幾十年達(dá)的水平。

“肯定能成，我們做的東西，是別人已經(jīng)做出來的，我們做不出來，就是我們能力不夠?！壁w海軍說，他們的目標(biāo)是為中國企業(yè)在國際上爭奪更多的話語權(quán)。

記者了解到，在中芯國際開發(fā)65納米產(chǎn)品的過程中，其面向的主要是國際客戶。在研發(fā)過程中會出現(xiàn)很多問題，他們每周都會和客戶開會溝通，工廠的研發(fā)團隊每天都是夜以繼日地工作。

“客戶的各種要求，剛開始我們認(rèn)為是根本達(dá)不到的，隨著工作不斷劃分，把每項工作都劃分到每個工程師，然后每天都開專門的會議，對問題進行解決，不斷地做實驗、做驗證，然后工程師24小時連軸轉(zhuǎn)，不斷地工作，對一個個難點進行攻克。有技術(shù)難關(guān)一個人攻克不了，就調(diào)集多人共同攻克?！敝行緡H技術(shù)研究發(fā)展助理總監(jiān)康勁介紹，中芯國際成立了一個“最緊急事件解決攻關(guān)小組”，一天要開一兩次會，攻克不同的技術(shù)難關(guān)。每次出現(xiàn)問題都會根據(jù)問題的重要程度，形成不同的會議和專業(yè)團隊去解決問題，問題的解決時間都是以小時為單位的。

國家統(tǒng)籌組織實施

推動企業(yè)量產(chǎn)時間降3倍

“成長為行業(yè)龍頭，與國家科技重大專項的支撐是分不開的。”中芯國際執(zhí)行顧問鄭敏政坦言，中國要發(fā)展半導(dǎo)體，要有技術(shù)、資金才能做出來，市場是現(xiàn)成的，每年有1800億美元的芯片靠進口。

“原來我們的底子比較薄，是單打獨斗，做單點突破。通過國家重大科技專項把產(chǎn)業(yè)鏈做起來了?！编嵜粽J(rèn)為，中國現(xiàn)在從專利網(wǎng)的布局，到整個行業(yè)材料設(shè)備的發(fā)展，到整套工藝在中芯國際直接進入生產(chǎn)，效果是非常明顯的。

通過大規(guī)模的以國家為主的全方面配合的方式，使得中國的半導(dǎo)體工藝技術(shù)真正有效地建立起來。

“國家牽頭做這個事情，從資源方面進行保證，上下都做得非常好?，F(xiàn)在我們看到中芯國際在65/55納米上做到這么大規(guī)模成功生產(chǎn)，45/40納米也在中芯國際進入量產(chǎn)，沒有02專項這樣一種方式，難以快速實現(xiàn)?！编嵜粽硎?。同時，國家科技重大專項的實施推動了產(chǎn)業(yè)規(guī)模的擴大。鄭敏政告訴記者：“現(xiàn)在02專項，因為經(jīng)驗慢慢地積累，項目實施得越來越快，已經(jīng)超越了中芯國際生產(chǎn)的能力。如何把02專項變成我們的生產(chǎn)能力已經(jīng)變成了一個問題。生產(chǎn)產(chǎn)能的建設(shè)需要時間和資金，生產(chǎn)產(chǎn)能的建設(shè)慢于技術(shù)的發(fā)展也是一個問題。從02專項上看，這是一個正面的評價?！?[!--empirenews.page--]

據(jù)記者了解，通過國家科技重大專項的組織與實施，讓中芯國際從研發(fā)到量產(chǎn)的時間縮短了2－3倍。

采購3億元國產(chǎn)設(shè)備和材料

龍頭企業(yè)帶動整個產(chǎn)業(yè)

龍頭企業(yè)的飛速成長，對整個產(chǎn)業(yè)的發(fā)展是利好。在國家科技重大專項的統(tǒng)籌之下，我國的集成電路芯片制造產(chǎn)業(yè)正在迅速成長。

據(jù)介紹，從工藝的角度，02專項安排了兩塊：一塊是“向前趕”，跟國際上縮短技術(shù)水平；另一塊是解決產(chǎn)品的本地化供應(yīng)，提高國產(chǎn)電路的市場占有率。

“02專項中支持的裝備和材料給誰用？中芯國際會在未來的時間里，采購經(jīng)過中芯國際驗證的、性價比較好的國產(chǎn)裝備和材料。我們作為裝備和材料的使用方，實現(xiàn)了驗證和采購兩大目標(biāo)。”鄭敏政認(rèn)為，中芯國際作為一個國際化的公司，既要面向國外市場，在國外市場拿到一定的份額，也要支持國內(nèi)市場，支持國內(nèi)企業(yè)的發(fā)展。

作為行業(yè)龍頭企業(yè)，中芯國際已經(jīng)累計采購包括北方微電子300毫米多晶硅刻蝕機、北京七星華創(chuàng)的300毫米立式擴散爐等3億多元的國產(chǎn)設(shè)備和材料。這對打破我國集成電路生產(chǎn)線歷來完全由國外進口設(shè)備壟斷有重要意義，從產(chǎn)業(yè)鏈的高度推動國有設(shè)備、材料的發(fā)展，也推動了北京市高端制造業(yè)的發(fā)展，極大地促進了北京市的行業(yè)技術(shù)進步和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整。

一個裝備從研發(fā)出來到生產(chǎn)使用，再反饋修改的過程是很漫長的，在正常的商業(yè)運作下，一般工廠給的機會和時間都是有限的，如果做不出來，達(dá)不到工廠的要求，就算失敗。在“專項”的協(xié)調(diào)下，可以給企業(yè)更長的時間、更多的機會不斷地完善自己、改進自己，給了產(chǎn)業(yè)鏈一個發(fā)展的契機。