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[導(dǎo)讀]應(yīng)用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX PECVD 系統(tǒng),用于制造最先進的智能手機和平板電腦中所采用的高性能有源矩陣OLED和TFT-LCD顯示屏。通過采用LTPS關(guān)鍵技術(shù),該系統(tǒng)可將高度一致的薄膜沉積至1.95平方米的玻璃

應(yīng)用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX PECVD 系統(tǒng),用于制造最先進的智能手機和平板電腦中所采用的高性能有源矩陣OLED和TFT-LCD顯示屏。通過采用LTPS關(guān)鍵技術(shù),該系統(tǒng)可將高度一致的薄膜沉積至1.95平方米的玻璃板上——該玻璃板是以往標(biāo)準(zhǔn)尺寸的三倍。這將使顯示屏制造商大幅提高產(chǎn)量,降低成本,從而加快消費電子產(chǎn)品的屏幕朝更大尺寸、更高精度的方向轉(zhuǎn)變。
OLED顯示屏具有豐富的色彩和低功耗特性,因此智能手機對4~5英寸OLED顯示屏有著強勁的需求。下一代平板電腦將采用更大的7~12英寸的OLED顯示屏,這就需要顯示屏制造商大幅提高產(chǎn)能以滿足市場需求。除了能生產(chǎn)更大的OLED顯示屏外,應(yīng)用材料公司的AKT-20K PX系統(tǒng)還可用于制造超高清晰度的TFT-LCD顯示屏。和以前的技術(shù)相比,這種顯示屏的像素排列緊密,因此能夠呈現(xiàn)更明亮、更鮮銳的畫面,同時功耗更低。
AKT-20K PX系統(tǒng)的核心是先進的LTPS技術(shù)。近十年來,應(yīng)用材料公司已使這項技術(shù)日臻完善。迄今為止,應(yīng)用材料公司已在全球交付近100套可將LTPS薄膜沉積在較小襯底上的系統(tǒng)。市場研究機構(gòu)DisplaySearch的報告顯示,2011年,LTPS沉積設(shè)備的市場規(guī)模將達到有史以來最高的24億美元。
應(yīng)用材料公司副總裁、平板顯示事業(yè)部總經(jīng)理Tom Edman表示:“應(yīng)用材料公司充分利用在大面積沉積技術(shù)領(lǐng)域近二十年來的領(lǐng)先優(yōu)勢,幫助客戶滿足消費者對OLED顯示屏快速增長的需求。我們擴展了已通過生產(chǎn)驗證的LTPS沉積技術(shù),將其應(yīng)用于最新的多反應(yīng)腔平臺,向客戶提供一流的性能和生產(chǎn)率。目前市場對AKT-20K PX系統(tǒng)反響非常好,我們已向多家主要的顯示屏制造商交付了多臺設(shè)備?!?
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