什么是MEMS應(yīng)用的下一個(gè)爆發(fā)點(diǎn)

MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)在動(dòng)作、加速度、傾斜角以及振動(dòng)等傳感器中應(yīng)用日益廣泛。目前，MEMS傳感器屬系統(tǒng)級封裝(SiP)解決方案，具有高分辨率、低功耗以及小尺寸等優(yōu)勢。

MEMS加速度計(jì)和陀螺儀可成功實(shí)現(xiàn)更多符合成本效益、采用動(dòng)作感應(yīng)功能的設(shè)備。 MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器為手機(jī)、MP3/MP4播放器、PDA或游戲機(jī)帶來更直觀的人機(jī)界面，把用戶手腕、手臂和手的動(dòng)作與應(yīng)用程式、頁面內(nèi)部及頁面之間的瀏覽、游戲機(jī)中的人物動(dòng)作等功能連接起來，實(shí)現(xiàn)真正的人機(jī)即時(shí)互動(dòng)。

資料保護(hù)是MEMS傳感器在便攜設(shè)備中的另一種應(yīng)用。當(dāng)出現(xiàn)自由落體或者其它異常動(dòng)作時(shí)，MEMS加速度計(jì)可即刻停止系統(tǒng)上全部硬盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)的讀寫操作，并且將硬盤驅(qū)動(dòng)器上的讀寫頭固定到安全位置。此外，MEMS加速度計(jì)也廣泛用于整合洗衣機(jī)或干衣機(jī)等家電中，可作為振動(dòng)檢測器，用于穩(wěn)定失衡的負(fù)荷，以防止機(jī)器產(chǎn)生過多不必要的磨損故障。

MEMS陀螺儀、角運(yùn)動(dòng)傳感器、用于人機(jī)界面的輔助加速度傳感器，為游戲機(jī)和遙控器帶來更生動(dòng)的用戶體驗(yàn)。陀螺儀可以提高數(shù)字?jǐn)z像機(jī)和數(shù)碼相機(jī)的影像與照片清晰度，提升汽車導(dǎo)航系統(tǒng)的航位推算和/或地圖匹配性能。由于在建筑物內(nèi)或高樓林立的市區(qū)，通常沒有GPS信號，航位推算系統(tǒng)可通過監(jiān)測動(dòng)作、行駛距離和緯度，修正數(shù)字羅盤的讀數(shù)，為用戶不間斷地提供準(zhǔn)確的導(dǎo)航資訊。

壓力傳感器可滿足應(yīng)用對全量程和高分辨率的要求：應(yīng)用實(shí)例包括手持設(shè)備的氣壓計(jì)功能和硬盤驅(qū)動(dòng)器的“飛行高度”控制功能。隨著硬盤驅(qū)動(dòng)器小型化的趨勢和容量不斷地提升，讀寫頭與硬盤表面之間的距離容易因?yàn)闅鈮鹤兓艿接绊憽?BR>
微機(jī)電聲學(xué)器件、或MEMS麥克風(fēng)可提高現(xiàn)有和新興應(yīng)用的音質(zhì)、可靠性以及成本效益，包括手機(jī)、筆記本電腦、攝像機(jī)、數(shù)碼相機(jī)以及助聽器或電子聽診器。將多個(gè)MEMS麥克風(fēng)組合成一個(gè)陣列可實(shí)現(xiàn)更多的功能，例如噪音抑制和方向拾音等。隨著人們在噪音很大和無法控制的環(huán)境內(nèi)使用手機(jī)的頻率日漸增加，這個(gè)功能對于提高聲音清晰度有很大的幫助，同時(shí)可提高手機(jī)通話與會議的音質(zhì)。

根據(jù)美國市調(diào)機(jī)構(gòu)iSuppli調(diào)查，意法半導(dǎo)體是全球最大的消費(fèi)電子和手機(jī)MEMS供應(yīng)商，年收入超過2億美元。意法半導(dǎo)體擁有業(yè)界領(lǐng)先的8英寸晶圓生產(chǎn)線，以極高的加工精密度和大規(guī)模制造能力為特色，所制造的零組件公差極小，制造成本更具有相當(dāng)?shù)氖袌龈偁幜Α?BR>
身為MEMS技術(shù)發(fā)展的領(lǐng)航者，意法半導(dǎo)體開始在單一封裝內(nèi)整合多個(gè)傳感器，包括加速度計(jì)、陀螺儀、地磁計(jì)以及壓力傳感器，一體化解決方案可大幅提升各種應(yīng)用的功能和性能。 iNEMO就是這種發(fā)展趨勢的實(shí)際案例。在這些多傳感器產(chǎn)品內(nèi)，集成傳感器可實(shí)現(xiàn)自主和自動(dòng)系統(tǒng)，監(jiān)測特定的條件，并根據(jù)監(jiān)測結(jié)果執(zhí)行相對應(yīng)的操作，使用者不需要或只需稍微的介入即可。此外，‘智能傳感器’結(jié)合MEMS器件與整合處理性能，能獨(dú)立運(yùn)作主要處理器之外的傳感器相關(guān)算法，有助于降低整體的系統(tǒng)功耗，對電池消耗極快的手持設(shè)備尤其重要。

硅微加工技術(shù)還被用于開發(fā)各種的熱流微機(jī)電系統(tǒng)器件。意法半導(dǎo)體是熱噴墨打印機(jī)噴頭市場的長期供應(yīng)商，為主要的噴墨打印機(jī)制造商提供噴頭芯片。噴墨頭芯片內(nèi)含有數(shù)百個(gè)微型通道，這些墨水通道與相對應(yīng)的微型墨盒相連接。同一芯片上的加熱元件與控制電路將墨水蒸發(fā)，把微小墨水氣泡噴射到打印紙上。