“這一成功證明我們的MEMS愿景是正確的，幾年前，我們認為新型MEMS技術能夠創(chuàng)造激動人心的全新的消費應用，于是決定集中資源開發(fā)MEMS技術，”意法半導體產(chǎn)品部門副總裁兼MEMS與健康保健產(chǎn)品、射頻技術和傳感器產(chǎn)品分部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示，“在2006年以前，MEMS傳感器的應用領域很窄，僅限于如安全氣囊碰撞傳感器等少數(shù)應用，因為體積龐大，功耗極高，成本昂貴，無法用于消費產(chǎn)品。”
通過設計開發(fā)新的MEMS結構，獲取新技術的專利，在保證高性能的同時，縮小器件尺寸，提高可靠性，降低耗電量，意法半導體解決了前兩個難題。為解決第三個難題，公司于2006年邁出大膽的一步，投資4000萬美元建立世界最先進的MEMS生產(chǎn)線。 2006年11月，意法半導體在米蘭近郊的Agrate地區(qū)落成一個200mm（8英寸）晶圓制造廠，專門制造MEMS產(chǎn)品，如加速傳感器、陀螺儀和壓力傳感器。
“得益于半導體器件的同步加工工藝，晶圓片的直徑提高了50%，芯片數(shù)量增加了一倍多，同時，這種技術還大幅度降低了芯片的單位成本?！盫igna表示，“意法半導體是世界唯一擁有一條200mm生產(chǎn)線的MEMS廠商，這意味著我們能夠為客戶批量提供精確而可靠的產(chǎn)品，而且價格滿足他們創(chuàng)造激動人心的全新消費電子應用的要求，這就是我們所做的一切。”
在MEMS線性運動傳感器取得巨大成功后，意法半導體擴大了產(chǎn)品陣容，新增加了微型MEMS陀螺儀。這類傳感器可檢測傾斜和角速度，特別適合更復雜的游戲機、虛擬現(xiàn)實傳感器、運動控制、指示設備，以及汽車導航功能，如航位推算和地圖匹配等。
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