信越化學(xué)開發(fā)出用于MEMS模具的硅橡膠
微接觸印刷是亞微米級微細(xì)圖案的大面積印刷技術(shù),是實(shí)現(xiàn)利用印刷技術(shù)制造電子元件的“可印刷電子(Printable Electronics)”的技術(shù)之一。通過把利用光刻制成的硅或石英制原版的圖案轉(zhuǎn)印到PDMS等硅橡膠上,制成印刷模版使用。只需將硅橡膠上圖案凸起部位的油墨印刷到薄膜上,即可形成納米圖案。
此次的硅橡膠是受新能源產(chǎn)業(yè)技術(shù)開發(fā)機(jī)構(gòu)(NEDO)的委托,作為“超柔軟顯示屏構(gòu)件技術(shù)開發(fā)”項(xiàng)目的一環(huán),由化學(xué)技術(shù)戰(zhàn)略機(jī)構(gòu)與產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所合作開發(fā)的。該產(chǎn)品不僅可以忠實(shí)地再現(xiàn)及轉(zhuǎn)印原版圖案,作為印刷材料也具有良好的適用性。另外,通過將雜質(zhì)控制到最小限度,還實(shí)現(xiàn)了防帶電功能。