我國(guó)首臺(tái)12英寸單晶爐研制成功

據(jù)科技日?qǐng)?bào)報(bào)道，近日，國(guó)家863計(jì)劃項(xiàng)目“超大規(guī)模集成電路配套材料”重大專項(xiàng)中的“TDR－150型單晶爐（12英寸MCZ綜合系統(tǒng)）”項(xiàng)目在北京正式通過(guò)科技部的驗(yàn)收，這標(biāo)志著擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù)的大尺寸集成電路與太陽(yáng)能用單晶硅生長(zhǎng)設(shè)備，在我國(guó)首次研制成功。 

    單晶爐是直拉法制備硅單晶的關(guān)鍵技術(shù)裝備，所制備的硅單晶主要用于集成電路元件和太陽(yáng)能電池。在我國(guó)，以單晶爐為代表的晶體生長(zhǎng)設(shè)備一直存在核心技術(shù)不足的問(wèn)題，高端產(chǎn)品均為國(guó)外公司所壟斷，在很大程度上制約了我國(guó)超大規(guī)模集成電路和太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。西安理工大學(xué)與北京有色金屬研究院從2003年起承擔(dān)“TDR－150型單晶爐（12英寸MCZ綜合系統(tǒng)）”課題的研究和攻關(guān)任務(wù)，課題組組織多學(xué)科技術(shù)骨干，形成穩(wěn)定的攻關(guān)團(tuán)隊(duì)，堅(jiān)持走自主創(chuàng)新、集成創(chuàng)新的道路，經(jīng)過(guò)三年多的攻關(guān)，取得了一系列創(chuàng)新性成果和關(guān)鍵技術(shù)。所研制的樣機(jī)由課題組自主攻關(guān)、設(shè)計(jì)和加工，關(guān)鍵部件和樣機(jī)達(dá)到了較高的技術(shù)水平，已成功拉制出12英寸無(wú)位錯(cuò)合格單晶。通過(guò)項(xiàng)目的實(shí)施，課題組還建立了高端晶體生長(zhǎng)設(shè)備的研發(fā)平臺(tái)，達(dá)到了積累經(jīng)驗(yàn)、獲取成果、培養(yǎng)隊(duì)伍的目的。
 
    驗(yàn)收會(huì)上，專家們認(rèn)為該成果的取得填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，標(biāo)志著我國(guó)超大規(guī)模集成電路和太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)裝備的生產(chǎn)邁上了一個(gè)新臺(tái)階，對(duì)我國(guó)超大規(guī)模集成電路及相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要的意義。