FSI國際收到一家全球性領先的晶圓廠對其ANTARES® 清洗系統(tǒng)的多套繼續(xù)訂單

FSI國際收到一家全球性領先的晶圓廠對其ANTARES® 清洗系統(tǒng)的多套繼續(xù)訂單
在線參數(shù)測試清洗彌補良率損失

明尼阿波利斯—FSI國際有限公司(納斯達克:FSII)近日宣布：一家領先的亞洲晶圓廠再次定購多套ANTARES(R)超凝態(tài)過冷動力學清洗系統(tǒng)，進一步提高了該平臺安裝數(shù)量。這項訂單的簽訂，緣于該機臺通過使用在線直流參數(shù)測試去除生產(chǎn)殘留物的能力，這些殘留物曾被報告會導致良率的損失。這家晶圓代工廠目前使用ANTARES系統(tǒng)完成各種前段制程(FEOL)和后段制程(BEOL)中的微粒去除工藝，該項訂單實現(xiàn)了在65nm和90nm技術節(jié)點更高的在線參數(shù)測試清洗的能力。預計該系統(tǒng)將在未來幾個季度出貨。ANTARES系統(tǒng)的標準價格范圍在120萬美元到200萬美元之間，最終價格取決于配置。

晶體管生成后在線參數(shù)測試，使集成電路制造商能夠在生產(chǎn)流程中點探明器件參數(shù)是否符合規(guī)格。同時，在線測試在控制制造工藝方面頗具價值，測試能夠檢測到造成芯片或整個晶圓損壞的殘留物。通過除去測試殘留物并允許IC制造商對測試芯片或晶圓進行無損的在線測試，ANTARES系統(tǒng)避免了殘留物造成損壞的危險。此外，ANTARES系統(tǒng)創(chuàng)新的噴霧清洗能力能夠增加測試頻率，因此可以對制造過程中的晶圓進行更多的監(jiān)控而不會造成良率損失，這在生產(chǎn)線應用更新的技術時尤其重要。  “我們很高興能夠提供一種直接影響客戶基本工藝的制程，”FSI國際總裁兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說到。“通過為我們的客戶提供一種有效的方法去實施在線參數(shù)測試清洗，客戶得到了更高的測試晶圓良率和收入，這是FSI今天就能為業(yè)界提供一些最高性能價格比清洗解決方案能力的進一步證明?！?nbsp;   目前，全世界有超過10家領先器件制造商使用ANTARES系統(tǒng)，主要是因為該系統(tǒng)的缺陷抑制和良率提升效益，并且超過一半的客戶使用ANTARES系統(tǒng)進行在線參數(shù)測試清洗。
 
ANTARES系統(tǒng)是一種全自動的、單晶圓超凝態(tài)過冷動力學系統(tǒng)，用于處理300mm和200mm晶圓，并具有納米級微粒去除能力。超凝態(tài)過冷動力學工藝技術是一種全干法無化學反應的工藝，它通過高速低溫Ar/N2噴霧沖擊來去除微粒，減少了缺陷且不對晶圓表面造成損傷，甚至也可用于銅和多孔低介電系數(shù)的薄膜。ANTARES系統(tǒng)的高效干法清洗解決方案可適用于多種FEOL和BEOL微粒去除應用。

AspectClean(TM)工藝特別適合于圖案結構敏感的工藝步驟，這些步驟源于前段制程柵極穿孔連接，業(yè)界一直在此領域中不斷尋求無損害零刻蝕粒子去除工藝。

N2Clean(TM)工藝提供后段制程銅流程中無風險水印清洗功能。并且是用于不同結構上銅化學機械拋光后、刻蝕中止層沉積、在線探測和低介電系數(shù)清洗的理想方法。

關于FSI國際有限公司
FSI國際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設備技術及支持服務的全球性的供應商。通過使用公司的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉噴霧式、汽相和超凝態(tài)過冷動力學等一整套清洗技術產(chǎn)品組合，客戶能夠實現(xiàn)他們的工藝性能、靈活性和生產(chǎn)能力目標。公司推出的支持服務項目包括了產(chǎn)品及工藝的提升，從而延長已安裝的FSI設備的使用壽命，使世界范圍內的客戶的資本投資獲得更高的回報。