IC裝備制造業(yè)是裝備制造行業(yè)中科技含量最高的產業(yè)，被業(yè)內人士稱為裝備制造業(yè)的珠穆朗瑪峰。2002年，為實現用高新技術改造傳統(tǒng)產業(yè)的戰(zhàn)略目標，沈陽市在全國率先提出了發(fā)展IC裝備制造產業(yè)的構想。經過3年的發(fā)展，沈陽在國家級高新技術產業(yè)區(qū)―――渾南新區(qū)，以零部件加工和子系統(tǒng)產品加工為突破口，并加強同海外華人的經濟技術交流，不斷吸收、消化國際先進技術，使渾南的IC裝備制造業(yè)迅速起步，目前正在形成兩大IC裝備制造業(yè)集團，一個是以沈陽新松機器人有限公司、沈陽芯源先進半導體技術有限公司、中科院沈陽自動化所為核心的IC生產廠晶片處理、傳送自動化裝備企業(yè)集團；一個是以中科院沈陽科學儀器研制中心有限公司為核心的真空、成膜設備企業(yè)集團。沈陽的IC裝備制造產業(yè)已經形成了從零部件和子系統(tǒng)加工，到單元和整機制造的全面發(fā)展格局，產業(yè)集群已初見雛形。
今年初，沈陽市同美國應用材料公司簽訂了試加工4塊大型平板顯示器高精密零部件的合同，美國是國際IC裝備制造業(yè)的龍頭，其產品涵蓋了IC生產線所需60%以上的設備品種，對零配件的加工技術要求近乎苛刻，此前我國其他一些地區(qū)的企業(yè)也曾嘗試承接該項目，但加工出來的產品均未合格。為拿下這個項目，渾南新區(qū)投資80萬元作為科技創(chuàng)新基金，中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司和沈陽先進制造技術產業(yè)發(fā)展有限公司共同組織科研人員進行技術攻關，終于攻克了環(huán)形燕尾槽和細長空兩項技術難關，在兩個月的時間里，技術攻關組成員與沈陽飛機制造有限公司、沈陽黎明航天發(fā)動機有限公司的科研人員一起分析、解決具體技術問題，并在沈陽鼓風機集團、沈陽機床集團有限公司等大企業(yè)的支持下，由沈陽的技術工人進行實際操作，按時完成了4塊大型平板顯示器高精密零部件的加工。該部件經88項人工檢測和116項設備檢測，各項指標全部檢驗合格，定期交貨。
此次加工項目的高質量完成，是沈陽老工業(yè)基地的人才優(yōu)勢、技術優(yōu)勢、裝備優(yōu)勢的展現，并為吸引國外知名IC裝備制造大公司進駐沈陽提供了配套優(yōu)勢。目前，美國應用材料公司正在同沈陽洽談新的合作項目。
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