國機高性能硅電容壓力傳感器填補國內(nèi)空白

國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展計劃項目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。

該項目采用先進的微電子和微機械加工相結合的工藝技術，在硅電容傳感器設計、制造工藝技術、傳感器封裝結構等方面具有創(chuàng)新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術難題，開發(fā)研制出完全擁有自主知識產(chǎn)權的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品，產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS，技術水平達到國內(nèi)領先、國際一流。

項目建成了年生產(chǎn)能力一萬臺的硅電容差壓傳感器生產(chǎn)線，實現(xiàn)了產(chǎn)品的系列化生產(chǎn)，并首次實現(xiàn)智能變送器產(chǎn)品核心傳感器的國產(chǎn)化配套，打破了國外的技術封鎖，填補了國內(nèi)空白。同時，作為上游核心器件，該項研究帶動了傳感器、變送器及相關儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，解決了有表無芯的問題，有效地支撐了高端裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈建設。