據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS與傳感器研究報告，由于價格相對較高，以及在汽車、醫(yī)療與工業(yè)等領(lǐng)域的應用范圍不斷擴大，壓力傳感器到2014年將成為銷售額最高的微機電系統(tǒng)(MEMS)器件。
因為汽車產(chǎn)業(yè)在衰退之后強勁復蘇，去年壓力傳感器銷售額比2009年增長26%，達到12.2億美元，在所有MEMS器件中排名第二。今年增長將比較溫和，預計增長6%，銷售額將達到13億美元，但預計2012年增長率將達到兩位數(shù)。
憑借穩(wěn)步擴張，壓力傳感器三年后將成為銷售額最高的MEMS器件，力壓無處不在的加速計與越來越受歡迎的陀螺儀。由于補償水平、裸片校準與封裝類型的不同，MEMS壓力傳感器的平均價格目前相差很大，面向高價值工業(yè)與醫(yī)療應用的從幾美元到幾十美元不等，而面向飛機液壓系統(tǒng)或飛行數(shù)據(jù)測量等最專業(yè)應用的則高達幾百美元，包括在惡劣的介質(zhì)、溫度和壓力條件下的工業(yè)應用組合。
到2015年，MEMS壓力傳感器銷售額將達到19.7億美元，如圖1所示，2010-2015年的復合年度增長率為10%。
MEMS壓力傳感器在多種應用領(lǐng)域得到大量使用
MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時變形?？梢岳脩儍x(壓阻型感測)來測量這種形變，也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行，輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)使用比較結(jié)實的壓阻方法。
汽車產(chǎn)業(yè)仍然是MEMS壓力傳感器的最大應用領(lǐng)域，占其銷售額的72%，其次是醫(yī)療電子占12%，工業(yè)領(lǐng)域占10%，消費電子與軍用航空占據(jù)其余的6%市場。
在汽車領(lǐng)域，引擎管理是其主要應用，包括汽油發(fā)動機中的歧管空氣壓力傳感器和柴油車中的共軌壓力傳感器，尤其是在歐洲。為了改善燃燒情況，有些組織也在研究可以在汽缸內(nèi)工作的壓力傳感器，以更好地測量參與化學反應的各種物質(zhì)的準確比例，并把數(shù)據(jù)反饋給引擎管理系統(tǒng)。
由于工作環(huán)境惡劣，汽車傳感器的價格比消費類傳感器高得多。另外，汽車傳感器需要較長的鑒定時間，而且這些傳感器必須能可靠工作長達15年的時間。有些傳感器，比如剎車或輪胎壓力傳感器，對于汽車安全至關(guān)重要。
MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應用是傳動系統(tǒng)壓力感測，通常用于自動裝置之中，但也用于新型雙離合器傳動系統(tǒng)。德國廠商博世最近進入該市場，推出了一款MEMS解決方案，使用油來保護硅薄膜，使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變化，當時使用的是多孔硅，帶來了高度可靠的MEMS器件，這些器件已用于目前的側(cè)面氣囊等應用之中。
在醫(yī)療市場，壓力傳感器主要充當外科手術(shù)使用的一次性低成本導管。但它們也用于昂貴的設(shè)備之中，在連續(xù)氣道正壓通氣(CPAC)機中感測壓力與差流。這些器件潛力巨大，可能在2015年以后成為可植入傳感器?？芍踩雮鞲衅鞑恍枰姵鼐湍芄ぷ?，可以用于心臟測量和監(jiān)測青光眼。
在工業(yè)領(lǐng)域，MEMS壓力傳感器的主要應用包括采暖通風及空調(diào)(HVAC)、水平面測量、各種工業(yè)過程與控制應用。例如，除了精確的高度氣壓測量，飛機使用傳感器監(jiān)測引擎、襟翼等其它部件。
MEMS壓力傳感器在消費與移動設(shè)備中不是特別熱
到目前為止，MEMS壓力傳感器在消費電子與移動領(lǐng)域的應用不是特別普遍，銷售額還不到2000萬美元。但其應用多種多樣，包括氣象站、運動手表、自行車電腦、潛水設(shè)備和步數(shù)計。還可以用于白色家電，如節(jié)能型洗衣機使用的水位傳感器。
在移動領(lǐng)域，迄今沒有什么大規(guī)模的應用。將來高端智能手機可能采用壓力傳感器充當高度計，支持室內(nèi)位置服務，但目前尚不具備這方面的基礎(chǔ)設(shè)施。在平板電腦領(lǐng)域，迄今壓力傳感器只用于使其能夠顯示本地天氣情況。
與加速計和陀螺儀在消費電子與移動領(lǐng)域得到廣泛使用相比，未來幾年壓力傳感器在該領(lǐng)域的應用仍將非常有限。
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