歐洲IC制造商訂購多套ANTARES®超凝態(tài)過冷動力學清洗系統

FSI國際有限公司(納斯達克:FSII)今日宣布：一家領先的歐洲集成電路制造商在現場評估項目成功地驗證了缺陷排除之后,已經購買多套ANTARES®CX超凝態(tài)過冷動力學清洗系統。這些系統將用于先進器件平面結構或元件結構的前段(FEOL)和后段(BEOL)中缺陷排除。這批系統的營業(yè)收入預計將記錄在2005財年的前半年。
“由于超強的工藝性能，ANTARES系統正被應用于大批量的制造中，”FSI國際有限公司董事長兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說到，“該客戶和其他客戶發(fā)現ANTARES超凝態(tài)過冷動力學清洗技術在缺陷排除方面非常有效，并且對敏感的元件結構不造成損傷，這項技術正在替代用于器件生產的傳統技術。我們已經為客戶提供了一些評估系統，并且在全球看到了對該技術強烈興趣。這些訂單標志著第13個集成電路制造廠將應用ANTARES系統的領先使能技術?！?br/>這項評估驗證了其他的ANTARES系統用戶使用超凝態(tài)過冷動力學技術排除缺陷的優(yōu)點。許多客戶已經發(fā)現ANTARES系統顯著地提高了成品率、降低了器件試產時間以并提供一個優(yōu)異的投資回報。
ANTARES系統是一種全自動的、單晶圓、用于300mm和200mm晶圓的超凝態(tài)過冷動力學系統，它具有經過生產現場驗證過的去除表面微粒缺陷和提高客戶成品率的應用歷史。 AspectClean™ 工藝推出于2003年9月，它提供了客戶在先進工藝中使用ANTARES系統必需的缺陷降低功能。ANTARES系統提供全干的、非化學反應的方法從FEOL和BEOL平面結構和元件結構上取出缺陷，包括在低介電系數結構中無損傷、不改變介電系數值或損傷內聯層材料本身，這種方法與傳統方法相比具有明顯的優(yōu)勢。