ASML出貨全新光刻機NXT2000i:將用于7nm/5nm工藝
ASML是一家專注于光刻機研發(fā)和制造的企業(yè),它開發(fā)的光刻機代表著目前世界最高水平,而現(xiàn)在這家光刻機巨頭已經(jīng)開始出貨最先進的NXT2000i光刻機,未來將會用于全新的7nm和5nm的工藝。
ASML推出的NXT2000i光刻機光刻精度可以達到驚人的1.9nm,遠低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。
目前ASML表示這款性能出眾的光刻機將于本年度末正式量產(chǎn),目前尚未確定光刻機的價格,不過按照目前ASML的定位,這款光刻機的定價應(yīng)該在幾千萬至上億美元之間。ASML的3400B EUV光刻機的報價是1.2億美元一臺,而14nm節(jié)點的光刻機報價則在7200萬美元。
ASML公司占據(jù)了全球7成的光刻機市場,同時也是Intel、臺積電、三星等晶圓制造商的供應(yīng)商。