450毫米晶圓2018年量產(chǎn) 極紫外光刻緊隨

全球最大的半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)商荷蘭ASML今天披露說，他們將按計(jì)劃在2015年提供450毫米晶圓制造設(shè)備的原型，Intel、三星電子、臺(tái)積電等預(yù)計(jì)將在2018年實(shí)現(xiàn)450毫米晶圓的商業(yè)性量產(chǎn)，與此同時(shí)，極紫外(EUV)光刻設(shè)備也進(jìn)展順利，將在今年交付兩套新的系統(tǒng)。

ASML在一份聲明中稱：“在客戶合作投資項(xiàng)目的支持下，我們已經(jīng)完成了用于極紫外、沉浸式光刻的450毫米架構(gòu)的概念設(shè)計(jì)，將在2015年交貨原型，并兼容2018年的量產(chǎn)，當(dāng)然如果整個(gè)產(chǎn)業(yè)來得及的話。”

Intel在今年初展示了全球第一塊完整印刷的450毫米晶圓，跨過了里程碑式的一步，并隨后宣布將投資20億美元對(duì)俄勒岡州D1XFab工廠進(jìn)行擴(kuò)建，預(yù)計(jì)2015年可建成并安裝450毫米晶圓生產(chǎn)設(shè)備。

歷史上每次擴(kuò)大晶圓尺寸都會(huì)將可用面積增加30-40%，芯片成本也有相應(yīng)的降低，300毫米過渡到450毫米同樣如此，所以為了使用更先進(jìn)的制造工藝和極紫外光刻技術(shù)，450毫米晶圓勢在必行，但隨著尺寸的增大，晶圓制造的難度也是指數(shù)級(jí)增長，因此450毫米晶圓提了很多年了，但至今仍然沒能投入實(shí)用。

(再次強(qiáng)調(diào)晶圓上那是右側(cè)人的投影不是缺一塊)

ASML的首批兩套NXE:3300B極紫外光刻系統(tǒng)將在今年第二、第三季度出貨并安裝，用于驗(yàn)證極紫外光刻技術(shù)的可行性，為大規(guī)模制造做好準(zhǔn)備。

ASMLNXE:3300B系統(tǒng)已經(jīng)斬獲了11個(gè)訂單，還有7個(gè)也保證采納。該系統(tǒng)已經(jīng)做到單次曝光13nm，并且有能力達(dá)到9nm，為半導(dǎo)體工藝進(jìn)軍個(gè)位數(shù)納米時(shí)代打下了基礎(chǔ)。

NXE:3300B系統(tǒng)在半年前的源功率只有11W，每小時(shí)最多產(chǎn)出7塊晶圓，三個(gè)月前提高到40W，如今已經(jīng)可以做到55W，每小時(shí)產(chǎn)出43塊晶圓，而最終目標(biāo)是105W、69塊。

在此之前，Intel、臺(tái)積電、三星電子曾經(jīng)分別向ASML投資多達(dá)41億美元、14億美元、9.7億美元，共同推進(jìn)其加速研發(fā)450毫米晶圓和極紫外光刻技術(shù)，受到刺激的ASML隨后耗資25億美元收購了關(guān)鍵的光學(xué)技術(shù)提供商Cymer，加快極紫外光刻進(jìn)展。