七星電子概況

北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(以下簡稱“七星電子”)是國內(nèi)知名電子專用設備供應商，是我國最早的半導體設備研制企業(yè)，是我國第一臺半導體擴散爐、第一臺等離子刻蝕機、第一臺氣體質(zhì)量流量控制器研制企業(yè)，也是我國最早的半導體清洗設備研制企業(yè)，完成國內(nèi)首條半導體生產(chǎn)線中6項關鍵設備的研發(fā)制造。

七星電子多年來一直承擔著國家多項科技重大專項研發(fā)任務，先后進行了12英寸立式氧化爐、清洗機及氣體質(zhì)量流量控制器等產(chǎn)品的研發(fā)。

目前，七星電子已成長為我國電子專用設備龍頭企業(yè)之一，是中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會理事長單位、北京電子制造裝備行業(yè)協(xié)會會長單位、SEMI行業(yè)協(xié)會會員。

七星電子研制的國內(nèi)首臺300mm立式氧化爐設備，應用于集成電路生產(chǎn)線90/65nm工藝中的20~1000埃氧化膜生長及退火等工藝。該設備重點解決了設備及工廠自動化、氧化爐溫度場和氣流場分布、顆?？刂?、微環(huán)境氧含量控制等關鍵技術問題，采用自主研發(fā)的性能優(yōu)異的MBTC溫度控制系統(tǒng)，不僅解決了傳統(tǒng)PID溫控系統(tǒng)在靈活性和穩(wěn)定性方面存在的不足，并且在溫度場的快速建立及恢復方面具有極佳的特性。全球只有包括七星電子在內(nèi)的三家企業(yè)可以制造該設備。目前，已完成300mm立式氧化爐樣機研制，并在中芯國際生產(chǎn)線上完成了大部分的測試及工藝驗證工作。

七星電子應用在超大規(guī)模集成電路硅片制程的銅互連工藝階段的300mm 65nm銅互連清洗設備，其設備技術指標已達到國際同類產(chǎn)品先進水平。該設備采用單片多腔室結構，具有占地面積小、結構緊湊、高度自動化、超強穩(wěn)定性等優(yōu)點。設備提供工廠集成接口，符合SEMI E15.1，完全AGV，OHT 兼容，滿足SECS/GEM和HSMS接口協(xié)議。清洗后可達到：無光刻膠和聚合物殘留;刻蝕通孔側壁無銅的殘留物;與銅及電介質(zhì)材料如FSG、SiN等相容性;在銅表面形成保護鈍化膜層;缺陷率滿足65納米技術帶的要求(如顆粒指標、水印等)。清洗機設備已完成樣機研制，即將進入工藝驗證階段。

七星電子在高效薄膜設備及工藝、晶硅自動化技術方面，已掌握核心技術，以良好的質(zhì)量與服務裝配了國內(nèi)外多條生產(chǎn)線。涉及光伏的主要產(chǎn)品包括：單晶爐、多晶硅鑄錠爐、擴散爐、PECVD、制絨清洗機、去PSG清洗機、石英管清洗機、石墨舟清洗機等。尤其在光伏大規(guī)模生產(chǎn)線上得到大量使用，其技術水平、產(chǎn)能、成本控制及自動化程度都已達到世界領先水平。

七星電子研發(fā)的SSD8571A擴散爐，采用了高精度、智能化、多點控溫技術，保證了對爐內(nèi)溫度控制的快速穩(wěn)定，確保了控溫數(shù)據(jù)的快速反應以及準確性。自動壓力平衡裝置，使爐內(nèi)外壓差為定值，且可根據(jù)工藝需求改變設定，從而提高了工藝均勻性以及工藝擴展性。設備單片COO下降20%，單位綜合能耗下降20%以上，設備安全運行時間實屬國內(nèi)領先，設備維護成本低廉。在客戶現(xiàn)場運行的實驗數(shù)據(jù)一直處于國內(nèi)領先水平，甚至趕超國際一線廠商的水準。該設備實現(xiàn)了MES與設備端的數(shù)據(jù)交互。

同時，七星電子研發(fā)的SSP8471A管式PECVD為單管產(chǎn)能全球最高設備，電池片轉換效率高，屬于世界先進水平。該設備具有獨特的射頻引入方式，且全自動運行并預留倒片接口。設備工藝均勻性高，差異小于 3%，配備了全自動上下料系統(tǒng)，碎片率≤0.1%(人為失誤及隱痕裂片除外)。此外，UPTIME≥95% (總時間-正常維護時間-異常停機)/總時間。該設備也實現(xiàn)了MES與設備端的數(shù)據(jù)交互。

七星電子是中國氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品的領先制造商。產(chǎn)品國內(nèi)目標市場占有率達80%。2010-2011年，已實現(xiàn)燃料電池用氣體流量控制器研發(fā)、投產(chǎn)，技術處于國際先進水平。且12英寸集成電路氣體質(zhì)量流量控制器也已完成研發(fā)，進入小批量生產(chǎn)階段。

由七星電子自主研發(fā)的CS系列質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，通過了省部級新品鑒定，該系列產(chǎn)品的各項技術指標均已達到國際一流標準，產(chǎn)品技術填補了國內(nèi)空白。其中，CS200系列氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品在核心技術上取得了新的突破，它采用恒功率傳感器、全金屬密封結構、基于VCP的閥控技術、全數(shù)字信號處理和控制方法以及數(shù)字化高精度的生產(chǎn)標定工藝，所有設計符合SEMI標準，已經(jīng)取得了CE認證。該產(chǎn)品目前已經(jīng)在光伏行業(yè)內(nèi)應用于100多條大型生產(chǎn)線中，得到了用戶的高度認可。CS300系列產(chǎn)品專為半導體行業(yè)設計生產(chǎn)，除了具備CS200產(chǎn)品的性能之外，其與氣體接觸的零件表面均經(jīng)過電化學拋光處理，粗糙度達到Ra 5μinch;與氣體接觸的零件表面化學成分：Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)，具有壓力補償功能，支持1.125,1.5英寸W，C，B型IGS氣路系統(tǒng)。

七星電子近年進行光伏逆變器的研發(fā)與生產(chǎn)，公司的光伏并網(wǎng)逆變器滿足CE標準及安規(guī)要求，并進行了德國TUV認證和我國金太陽認證，設計合理，功能全面，能效性良好。不僅擁有先進的技術水平，而且能夠根據(jù)客戶需求進行人性化設計，提供高端的用戶體驗和品質(zhì)保證。

七星電子于2005年加入SEMI協(xié)會，多年來大力支持SEMI主辦的各項活動，通過參加SEMICON CHINA展會及各種研討會等進行行業(yè)交流。此外，七星電子積極參與SEMI關于行業(yè)標準的制定，并以SEMI標準指導產(chǎn)品的研發(fā)和設計，得到了行業(yè)內(nèi)的廣泛認可，不斷提高產(chǎn)品的國際化水平。一直以來，七星電子密切關注行業(yè)動向與產(chǎn)業(yè)發(fā)展形勢。通過積極參加SEMI主辦的SEMICON CHINA等行業(yè)盛會以及具有前瞻性的各種專業(yè)研討會，保持與行業(yè)內(nèi)的交流與溝通，從而緊跟國際尖端技術潮流。