Crossing Automation推出450mm晶圓開(kāi)發(fā)平臺(tái)及傳送器

Crossing Automation, Inc.公司是芯片制造商和工具自動(dòng)化產(chǎn)品的領(lǐng)先設(shè)計(jì)商既制造商，當(dāng)今最主要的半導(dǎo)體裝置和設(shè)備公司均使用其產(chǎn)品。公司日前宣布推出450mm晶圓開(kāi)發(fā)平臺(tái)和Crossing Certon 450晶圓傳送器，并已接獲領(lǐng)先的原始設(shè)備制造商(以下簡(jiǎn)稱(chēng)OEM)對(duì)這兩種產(chǎn)品的訂單。晶圓傳送器預(yù)計(jì)將在今年12月出貨，而開(kāi)發(fā)平臺(tái)將在2012年第一季度出貨。

Crossing Automation市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)部副總裁May Su 表示：“毫無(wú)疑問(wèn)，IDM(整合元件制造商)和OEM廠商都在增加450mm相關(guān)產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)活動(dòng)。這些產(chǎn)品突出了我們?cè)谛庐a(chǎn)品開(kāi)發(fā)方面的持續(xù)投資，而訂單證明了我們開(kāi)發(fā)450mm晶圓市場(chǎng)的方向是正確的。”

Crossing 全新450mm晶圓開(kāi)發(fā)平臺(tái)，為市場(chǎng)帶來(lái)一種獨(dú)特的、成本低廉且占地面積小的系統(tǒng)，使OEM廠商能夠平穩(wěn)地把晶圓移入或移出處理艙。這種單一的FOUP(前端開(kāi)口片盒) EFEM(設(shè)備前端模塊)通過(guò)消除平臺(tái)開(kāi)發(fā)上花費(fèi)的時(shí)間，進(jìn)而加快了OEM廠商研發(fā)450mm晶圓產(chǎn)品的生產(chǎn)速度。這種可高度擴(kuò)展的平臺(tái)采用了Crossing公認(rèn)的處理技術(shù)，由于沒(méi)有軟件和硬件接口的變化，OEM廠商可輕松進(jìn)入批量生產(chǎn)階段。

Crossing Certon 450接口晶圓傳送器在市場(chǎng)上是獨(dú)一無(wú)二的，它提供了獲得專(zhuān)利、符合人體工程學(xué)的“傾斜—移動(dòng)”技術(shù)，即僅用一個(gè)人就能完成安裝、卸載和工具移動(dòng)。此功能允許快速安裝并快速存取EFEM或加工工具的內(nèi)部配件，晶圓傳送器80公斤的重量只有行業(yè)平均水平的一半，能提供更便捷的服務(wù)。Crossing Certon的其他特色還包括使處理能力最大化的集成制圖功能，和正在申請(qǐng)專(zhuān)利的水平關(guān)門(mén)機(jī)制。水平關(guān)門(mén)機(jī)制可確保恰當(dāng)?shù)貙⑴撻T(mén)關(guān)閉，以防止損害晶圓和顆粒物的產(chǎn)生。Crossing公司的晶圓傳送器提供廣泛的功能，同時(shí)符合450mm FOUP、FOSB(前開(kāi)口運(yùn)裝箱)、MAC(多應(yīng)用載體)的標(biāo)準(zhǔn)。

市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)部副總裁May Su說(shuō)：“這兩款新產(chǎn)品強(qiáng)調(diào)了我們對(duì)OEM客戶(hù)的承諾，使客戶(hù)能夠?qū)Ｗ⒂谘邪l(fā)工具，而不須操心450mm晶圓開(kāi)發(fā)階段的運(yùn)送處理問(wèn)題。”