愛普生影像設(shè)備全面停用液晶面板制造中的光刻膠剝離液
精工愛普生集團(tuán)下屬的愛普生影像設(shè)備(Epson Imaging Device)宣布,2007年7月已在日本國(guó)內(nèi)的所有事業(yè)所全面停用列入PRTR(污染物排放與轉(zhuǎn)移登記制度)的化學(xué)物質(zhì)“乙醇胺(2-Aminoethanol)”。乙醇胺是液晶面板制造前期工序之一——光刻工序中使用的光刻膠剝離液的主要成分。這樣的全面停用在液晶業(yè)界尚屬首次。
該公司目前使用的化學(xué)物質(zhì)約有200種,其中可能對(duì)人體健康和生態(tài)有害的,被《PRTR法》歸為第一類化學(xué)物質(zhì)及年使用量達(dá)100kg以上的有9種。乙醇胺就是其中之一,2005年度使用量最多,達(dá)到210t。因此該公司03年度起開始推進(jìn)全面停用活動(dòng),目標(biāo)是“2007年度內(nèi)實(shí)現(xiàn)日本國(guó)內(nèi)事業(yè)所全面停用”,“2008年度內(nèi)實(shí)現(xiàn)海外制造法人及蘇州愛普生(SZE)全面停用”。
乙醇胺的全面停用是通過(guò)兼顧質(zhì)量和成本,同時(shí)采用該公司自主的剝離液而實(shí)現(xiàn)的。這樣,替代剝離液的物質(zhì)的使用量減至原來(lái)一半以下,成本也降低了一半。此次停用的是日本國(guó)內(nèi)的所有事業(yè)所,其余的SZE計(jì)劃08年度內(nèi)實(shí)現(xiàn)全面停用。