第10代玻璃底板制造設(shè)備及部材爭(zhēng)相亮相

“FPD International 2008”上，支持第10代玻璃底板的液晶制造裝置及部件及部材的展示紛紛亮相。繼AKT發(fā)布支持第10代底板的等離子CVD裝置和EB（電子束）測(cè)試儀之后，各公司又在FPD International展示會(huì)上接連展出了許多支持第10代底板的裝置。

表示支持第10代底板的裝置廠商包括，東電電子、大日本網(wǎng)屏、東麗工程，東京應(yīng)化工業(yè)、日立高科及Nakan等。另外，曝光裝置用光掩模方面，Clean Surface Technology、Ohara Quartz及日礦金屬等也宣布支持第10代底板。

在展示中明確說明支持第10代底板的裝置包括，東電電子的涂布顯像裝置和干式蝕刻裝置，大日本屏幕的濕式蝕刻處理裝置和涂布、顯像裝置，東麗工程的狹縫式噴嘴涂布機(jī)（Slit-nozzle Coater）、字幕機(jī)及全面膜厚測(cè)定裝置，東京應(yīng)化工業(yè)的浮式涂布機(jī)（Floating Coating），日立高科的濕式處理裝置、彩色濾光器用曝光裝置和玻璃底板檢查裝置，以及Nakan的配向膜印刷裝置。

曝光裝置用相關(guān)材料包括，Ohara Quartz的光掩模用石英材料、Clean Surface Technology的光刻掩模板以及日礦金屬的濺射靶材等。

目前，已決定導(dǎo)入第10代生產(chǎn)線的液晶面板廠商只有1家。因此，表示支持第10代底板的裝置廠商的解說員介紹時(shí)仍以玻璃底板尺寸為中心，避免涉及裝置性能相關(guān)的具體內(nèi)容。

除上述裝置廠商以外，未明確表示支持第10代生產(chǎn)線但表示“將支持新一代大型底板”的是芝浦機(jī)電和愛發(fā)科。

(編輯:xiaoyao)