日本開發(fā)可提高有機(jī)EL面板特性氧化物TFT

用于液晶面板、有機(jī)EL面板以及電子紙等顯示面板驅(qū)動(dòng)用途的氧化物半導(dǎo)體TFT的研發(fā)越來越活躍。其中，作為驅(qū)動(dòng)有機(jī)EL面板的有力候補(bǔ)，氧化物半導(dǎo)體TFT更是備受期待。與原來采用非晶硅TFT相比，氧化物半導(dǎo)體TFT的載流子遷移率高達(dá)10cm2/Vs，是前者的10倍左右，這樣就便于提高有機(jī)EL面板的亮度。另外，氧化物TFT的特性不均較小，而且電流的時(shí)間變化也較少。因此，可輕松抑制有機(jī)EL面板的顯示不均現(xiàn)象，適于大面積化用途。另外，由于氧化物TFT可通過濺射法制造，因此導(dǎo)入時(shí)無需大幅改變現(xiàn)有的液晶面板生產(chǎn)線。?

鑒于上述優(yōu)點(diǎn)，韓國LG顯示器（LG Display）、韓國三星電子（Samsung Electronics）以及臺灣友達(dá)光電（AU Optronics）等韓國和臺灣的大型面板廠商紛紛加大氧化物TFT的開發(fā)力度，日本廠商則是最近才開始大力開發(fā)。

夏普在2009年12月舉行的顯示器技術(shù)國際學(xué)會“16th InternationalDisplay Workshops（IDW ’09）”上，公開了采用氧化物TFT的2.6英寸QVGA（320×240像素）液晶面板。氧化物半導(dǎo)體采用了IGZO（In-Ga-Zn-O）。

凸版印刷的TFT采用了可進(jìn)行涂布的氧化物半導(dǎo)體。由于采用了涂布工藝，有望降低制造成本。該公司試制出了將制造工序中的最高溫度降至270℃的氧化物TFT。與采用原來涂布工藝制造的氧化物TFT相比，其最高溫度“要低100℃以上”（凸版印刷）。凸版印刷的試制品是在玻璃底板上制作的，通過旋轉(zhuǎn)覆蓋（Spin Coat）對氧化物半導(dǎo)體進(jìn)行涂布成膜。柵極絕緣膜以及源極等各個(gè)電極都可采用原來的制造工序。

雖然比不上采用濺射法制造的產(chǎn)品，但凸版印刷的試制品實(shí)現(xiàn)了與普通非晶硅TFT同等程度的特性，遷移率超過0.5cm2/Vs，開關(guān)比超過105。特點(diǎn)是將電子紙和液晶面板的驅(qū)動(dòng)納入考慮范圍。凸版印刷已經(jīng)利用該試制品成功地驅(qū)動(dòng)了美國E Ink生產(chǎn)的2英寸電子紙。

凸版印刷研發(fā)的采用涂布型氧化物TFT的電子紙?jiān)囍瞥隽瞬捎猛坎夹脱趸?strong>半導(dǎo)體的TFT，并成功地驅(qū)動(dòng)了E Ink制造的電子紙（a）。特點(diǎn)是TFT制造工序中的最高溫度僅為270℃（b）。

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