半導(dǎo)體投射電容面板制程富創(chuàng)得力拼1吋1美元

時間：2010-12-16 03:30:00

關(guān)鍵字：半導(dǎo)體電容觸控面板薄膜

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[導(dǎo)讀]在Windows 7和iPad話題效應(yīng)的帶動之下，多點觸控面板正成為眾所矚目的焦點。臺廠富創(chuàng)得（FORTREND）以獨特的半導(dǎo)體投射電容觸控面板制程，不僅能有效提高良率達95～98％，并且大幅降低制程成本。富創(chuàng)得強調(diào)半導(dǎo)體投

在Windows 7和iPad話題效應(yīng)的帶動之下，多點觸控面板正成為眾所矚目的焦點。臺廠富創(chuàng)得（FORTREND）以獨特的半導(dǎo)體投射電容觸控面板制程，不僅能有效提高良率達95～98％，并且大幅降低制程成本。富創(chuàng)得強調(diào)半導(dǎo)體投射電容面板制程技術(shù)，能讓投射電容觸控面板擺脫單價過高的限制，力拼電阻式觸控面板「一吋一美元」的價格區(qū)間，可望強化投射電容觸控面板的市場競爭力。

附圖 : 富創(chuàng)得董事長吳明發(fā)正展示其半導(dǎo)體投射電容觸控模塊產(chǎn)品。 BigPic:400x386
富創(chuàng)得董事長吳明發(fā)表示，有別于多數(shù)觸控面板廠商從控制器或彩色濾光片領(lǐng)域切入的角色，富創(chuàng)得的半導(dǎo)體投射式電容制程，是以既有的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備為基礎(chǔ)，也是目前臺灣唯一從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)跨入觸控面板領(lǐng)域的廠商。吳明發(fā)強調(diào)，相關(guān)的半導(dǎo)體機臺設(shè)備都是與臺灣廠商合作，而產(chǎn)線也都是位于桃園林口，生產(chǎn)重心都是以臺灣為主，制程技術(shù)也在中國、美國與歐洲取得專利認證。

由于投射式電容觸控技術(shù)是藉由手指接近（近接而非按壓）材質(zhì)電極布線所產(chǎn)生的感應(yīng)電容變化來達到觸控的效果，因此面板可以透光度高的玻璃材質(zhì)為主。相較于其他材質(zhì)，玻璃外觀相當平坦，可抗刮而不易壞損，使用壽命也大幅提升，并且可支持全平面的觸控應(yīng)用需求。

不過一般生產(chǎn)投射電容觸控面板的過程，多是以傳統(tǒng)的大尺寸玻璃制程為主軸，在經(jīng)過薄膜制程、黃光和蝕刻制程鍍膜ITO條狀感測電極之前，玻璃要先經(jīng)過拋光和高溫化強等步驟，這時玻璃多會因高溫產(chǎn)生翹取現(xiàn)象，還需經(jīng)過一道壓平手續(xù)，玻璃的平整度因而受到影響，經(jīng)過強化后的玻璃結(jié)構(gòu)強度因此衰減38％。而壓平之后的薄膜制程，成膜的均勻度較差，ITO薄膜的質(zhì)量也因此會降低。此外，黃光制程的光阻涂布質(zhì)量也較差，UV曝光能量也易不均，顯影質(zhì)量也容易大打折扣；蝕刻制程的濕式蝕刻效率也不夠均勻，且不易調(diào)整制程控制。再加上切割裂片、研磨、仿型后的玻璃面板還需經(jīng)過一道與Cover Lens的組裝貼合手續(xù)，這些都會使得大尺寸觸控玻璃制程的良率無法有效提升，只能維持在60～70％左右。

富創(chuàng)得項目經(jīng)理謝富來指出，所謂「先切后曝」的改良式小片玻璃生產(chǎn)制程，是利用小尺寸的半導(dǎo)體制程技術(shù)，先將玻璃進行切割裂片、研磨、仿型后，再進行拋光和化強程序，這樣便不會產(chǎn)生翹取問題，因此不會破壞強化后的玻璃結(jié)構(gòu)。另外，切割后的小片玻璃經(jīng)過薄膜制程，也能夠有效控制ITO薄膜的成膜均勻度，如此ITO條狀感測電極在小尺寸玻璃的均勻度就會提高，誤差率小于1％。而黃光微影則采用如同照相機的直射式曝光方式，更可有效掌握顯影質(zhì)量。

這樣的半導(dǎo)體制程方式除了可減少傳統(tǒng)制程步驟外，產(chǎn)出的觸控玻璃面板不需經(jīng)過Cover Lens的組裝貼合過程，直接一體成型單片，可將面板厚度減少至30％左右。謝富來并強調(diào)，此制程方式亦可因客戶需求彈性調(diào)配不同尺寸規(guī)格的玻璃材質(zhì)，不同尺寸的觸控面板產(chǎn)線更能同時并行，亦可提高既有半導(dǎo)體設(shè)備機臺的使用效能以及產(chǎn)線的彈性化，相關(guān)設(shè)備投資成本僅需1億多元臺幣，可大幅降低制程成本。因此謝富來表示，當產(chǎn)線建制完備后，會進一步自購玻璃切割設(shè)備。

董事長吳明發(fā)進一步透露，目前12.1吋以下的半導(dǎo)體投射電容制程均可進入量產(chǎn)階段，今年富創(chuàng)得將布建兩條產(chǎn)線，機臺設(shè)備預(yù)計在第3季建制完畢，屆時10.1吋的月產(chǎn)能可達70萬片，加上4.3吋的淤產(chǎn)能也可達60萬片。在相關(guān)應(yīng)用上，吳明發(fā)則看好手機、MID、小筆電以及家電用品等領(lǐng)域，目前也計劃進軍AIO（All-in-One）和平板計算機應(yīng)用。

吳明發(fā)更指出，富創(chuàng)得正積極與觸控IC大廠包括硅創(chuàng)（Sitronix）、硅統(tǒng)（SIS）和Silicon Labs密切合作，除穩(wěn)定上游貨源外，并進一步計劃開發(fā)大尺寸投射電容觸控面板模塊。至于在12.1吋以下的投射電容觸控面板產(chǎn)品，富創(chuàng)得已與包括Cypress、蘇州瀚瑞微電子（Pixcir）、ST、Atmel、硅統(tǒng)和硅創(chuàng)等觸控IC大廠合作推出各級尺寸觸控面板。另一方面，富創(chuàng)得的投射電容面板模塊近期也將取得Windows 7 Logo認證。