友達(dá)32英寸OLED面板IGZO TFT采用7枚光掩模制作

友達(dá)光電(AU Optronics，AUO)在美國波士頓舉行的最大規(guī)模顯示器國際學(xué)會“SID 2012”上發(fā)表了32英寸OLED面板的實(shí)現(xiàn)技術(shù) [論文序號：9.3]。像素為1920×1080，亮度為200cd/m2，對比度為100萬:1。

32英寸開發(fā)品的驅(qū)動元件采用氧化物半導(dǎo)體IGZO(In-Ga-Zn-O)TFT。載流子遷移率為14.1cm2/Vs，閾值電壓約為1.4V,亞閾值擺幅為0.38V/dec.以下。

IGZO TFT構(gòu)造為底柵型，光掩膜數(shù)量為7枚，分別是(1)柵極電極(Al/Mo)、(2)通道層(IGZO)、(3)蝕刻阻擋層(SiOx)、(4)源漏電極(MoN/Al/MoN)、(5)保護(hù)膜(鈍化膜，SiOx/SiNx)、(6)陽極(ITO)、(7)Bank層(有機(jī)膜)。

IGZO層的成膜采用DC濺射技術(shù)。友達(dá)光電開發(fā)IGZO TFT驅(qū)動的32英寸液晶面板時利用5枚掩模制作，此次為形成OLED元件追加了掩模。

OLED元件構(gòu)造采用從TFT基板側(cè)提取光的底部發(fā)光型。利用金屬掩模蒸鍍法分涂低分子型RGB三色發(fā)光材料形成彩色面板。