夏普率先量產(chǎn)IGZO TFT液晶面板

IGZO的最大特點(diǎn)是載流子遷移率在10cm2/Vs以上，比現(xiàn)有的TFT材料非晶硅高出10倍以上。結(jié)果，IGZO能夠以低功耗驅(qū)動(dòng)高精細(xì)面板。另外，IGZO還具有透明性、可在柔性基板上低溫成膜等硅所沒有的特點(diǎn)。因此，IGZO在有機(jī)EL面板和電子紙領(lǐng)域也備受關(guān)注。

IGZO是由銦(In)、鎵(Ga)、鋅(Zn)和氧(O)構(gòu)成的氧化物半導(dǎo)體In-Ga-Zn-O的簡稱。夏普于2012年4月在業(yè)界率先開始全面量產(chǎn)采用IGZO TFT(以IGZO為基礎(chǔ)的TFT)的液晶面板。將主要用于平板終端，供應(yīng)對(duì)象被認(rèn)為是美國蘋果公司的“iPad”。夏普計(jì)劃今后將IGZO TFT液晶面板用于筆記本電腦和顯示器。這是一項(xiàng)可讓夏普復(fù)興液晶面板業(yè)務(wù)的技術(shù)。

東京工業(yè)大學(xué)教授細(xì)野秀雄的團(tuán)隊(duì)發(fā)現(xiàn)了IGZO TFT的上述潛力，并且自始至終在研發(fā)方面處于領(lǐng)先地位。該團(tuán)隊(duì)在1996年證實(shí)IGZO TFT可實(shí)現(xiàn)超過10cm2/Vs的高水平載流子遷移率，2004年在柔性基板上制作出了IGZO TFT。

這些成果成為日本國內(nèi)外企業(yè)著手開發(fā)IGZO TFT的契機(jī)。佳能、韓國LG電子、韓國三星電子和凸版印刷等企業(yè)，從2005年前后著手IGZO TFT的開發(fā)工作。最初大多用于不到10英寸的小型面板，而近來達(dá)到實(shí)用化水平的成果逐漸增加，比如2010年三星開發(fā)出了70英寸的液晶面板。夏普一直與日本半導(dǎo)體能源研究所共同推進(jìn)IGZOTFT的開發(fā)，但此前并未積極地發(fā)布開發(fā)成果。

此次夏普開始量產(chǎn)IGZO TFT液晶面板后，今后估計(jì)韓國和臺(tái)灣廠商也會(huì)相繼量產(chǎn)。其中，三星已在2011年7月就針對(duì)細(xì)野等人的研究成果為基礎(chǔ)的IGZO TFT技術(shù)專利群，從日本科學(xué)技術(shù)振興機(jī)構(gòu)(JST)獲得了授權(quán)，由此可以看出三星量產(chǎn)IGZO TFT液晶面板的姿態(tài)。(