NTSC規(guī)格比超過100％ 索尼展出9.9英寸柔性有機EL面板

索尼開發(fā)出9.9英寸的柔性有機EL面板，這是一款像素為960×540的產(chǎn)品，像素間距為228μm，清晰度為111ppi，厚度為110μm。

驅(qū)動元件采用氧化物半導(dǎo)體非晶IGZO TFT。通過組合使用白色有機EL材料與RGBW4色彩色濾光片（CF）實現(xiàn)彩色顯示。有機EL元件的構(gòu)造采用從與TFT基板相反一側(cè)提取光的頂部發(fā)光型。色彩表現(xiàn)范圍NTSC規(guī)格比高達(dá)100％以上。

此次的開發(fā)品使用兩張在玻璃上貼有薄膜的基板制作而成。在一張基板上形成TFT和有機EL元件，另一張基板上形成彩色濾光片。將這兩張基板粘結(jié)后剝離玻璃，從而制成柔性面板。TFT、有機EL元件與彩色濾光片可采用與普通玻璃基板相同的制作工序，因此“在量產(chǎn)柔性有機EL面板時，這是一個比較實際的選擇”（索尼）。

非晶IGZO TFT采用普通的真空成膜與光刻技術(shù)制成。IGZO層通過濺射成膜，柵極絕緣膜（SiOx）通過PECVD成膜，TFT構(gòu)造為底柵型，為提高可靠性在半導(dǎo)體層上部設(shè)置了蝕刻阻擋層。載流子遷移率為13.4cm2/Vs，亞閾值擺幅（Subthreshold Swing）為0.2V/dec.，“與在玻璃基板上直接形成時基本相同”（索尼）。據(jù)索尼介紹，在將玻璃剝落前后，TFT特性沒有變化。

白色有機EL元件通過蒸鍍低分子材料形成。采用頂部發(fā)光構(gòu)造是“為了利用在有機EL電視、顯示屏和頭戴式顯示器用面板中積累起來的技術(shù)和經(jīng)驗”（索尼）。彩色濾光片采用普通的光刻技術(shù)制作，工藝溫度在100℃以下。