名古屋大學(xué)等用柔版印刷技術(shù)制造出柔性顯示器用CNT-TFT

由日本名古屋大學(xué)工學(xué)部副教授大野雄高與阪東化學(xué)組成的研究團隊，利用柔版印刷技術(shù)試制出了柔性顯示器等用的碳納米管（CNT）TFT，獲得了高達112cm2/Vs的遷移率。并在2012年13日在日本愛媛大學(xué)舉行的“2012年秋季第73屆應(yīng)用物理學(xué)會學(xué)術(shù)演講會”（2012年9月11～14日于）上發(fā)表（演講序號：13a-C2-5）。

柔版印刷是凸版印刷的一種，其特點之一是使用橡膠版或光硬化樹脂制柔性版。該印刷技術(shù)要利用光硬化性等制成印刷圖案的圓輥狀凸版，并用表面為多孔狀的輥子（網(wǎng)紋輥）將水性油墨蘸在版上來印刷。印刷精度雖比凹版略低，但其處理量遠(yuǎn)高于絲網(wǎng)印刷及噴墨印刷。

大野等著眼于高處理量、低成本性以及與卷對卷方式的適應(yīng)性，利用柔版印刷技術(shù)試制了CNT-TFT。

整個工藝全部在常溫常壓條件下進行，柵電極及源/漏電極使用銀納米粒子、柵絕緣膜使用亞胺樹脂、TFT的溝道層使用CNT。CNT圖案形成使用常壓下的氧（O2）等離子體，而為形成圖案的光刻膠層也是使用印刷技術(shù)形成的。

CNT系使用大野研究室正在開發(fā)的氣相過濾干轉(zhuǎn)印法制造?；迨褂肞EN（聚萘二甲酸乙二醇酯）薄膜。印刷速度為6.6cm/秒。

試制的CNT-TFT的溝道長度為115μm，載流子遷移率為112cm2/Vs，導(dǎo)通/截止比為104。載流子遷移率數(shù)值之高足可供顯示器驅(qū)動TFT使用。（源自：《日經(jīng)電子》 記者：野澤哲生）