【SID】友達(dá)光電的32英寸有機(jī)EL面板，IGZO TFT采用7枚掩模制作

時(shí)間：2013-03-27 10:52:00

關(guān)鍵字： TFT 友達(dá)光電元件 INTERNATIONAL

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[導(dǎo)讀]友達(dá)光電（AU Optronics，AUO）在美國(guó)波士頓舉行的最大規(guī)模顯示器國(guó)際學(xué)會(huì)“SID 2012”上發(fā)表了32英寸有機(jī)EL面板的實(shí)現(xiàn)技術(shù) [論文序號(hào)：9.3]。該產(chǎn)品與在2011年10月舉行的“FPD International 2011”上展示的產(chǎn)品相同

友達(dá)光電（AU Optronics，AUO）在美國(guó)波士頓舉行的最大規(guī)模顯示器國(guó)際學(xué)會(huì)“SID 2012”上發(fā)表了32英寸有機(jī)EL面板的實(shí)現(xiàn)技術(shù) [論文序號(hào)：9.3]。該產(chǎn)品與在2011年10月舉行的“FPD International 2011”上展示的產(chǎn)品相同。像素為1920×1080，亮度為200cd/m^{2，對(duì)比度為100萬(wàn):1。

32英寸開發(fā)品的驅(qū)動(dòng)元件采用氧化物半導(dǎo)體IGZO（In-Ga-Zn-O）TFT。載流子遷移率為14.1cm^{2/Vs，閾值電壓約為1.4V,亞閾值擺幅為0.38V/dec.以下。

IGZO TFT構(gòu)造為底柵型，光掩膜數(shù)量為7枚，分別是（1）柵極電極（Al/Mo）、（2）通道層（IGZO）、(3）蝕刻阻擋層（SiOx）、（4）源漏電極（MoN/Al/MoN）、（5）保護(hù)膜（鈍化膜，SiOx/SiNx）、（6）陽(yáng)極（ITO）、（7）Bank層（有機(jī)膜）。IGZO層的成膜采用DC濺射技術(shù)。友達(dá)光電開發(fā)IGZO TFT驅(qū)動(dòng)的32英寸液晶面板時(shí)利用5枚掩模制作，此次為形成有機(jī)EL元件追加了掩模。

有機(jī)EL元件構(gòu)造采用從TFT基板側(cè)提取光的底部發(fā)光型。利用金屬掩模蒸鍍法分涂低分子型RGB三色發(fā)光材料形成彩色面板。
圖1：在“FPD International 2011”上公開的32英寸產(chǎn)品}}