NanoPhotonics與ISMI簽訂合約,將向ISMI出貨兩臺用于450mm晶圓的缺陷檢測設備。
這兩臺設備分別是Reflex MC 450和BevelCam MC 450,兩臺設備將和450mm設備前端模塊一同集成于ISMI 450mm協(xié)同測試試驗臺。
NanoPhotonics與ISMI簽訂合約,將向ISMI出貨兩臺用于450mm晶圓的缺陷檢測設備。
這兩臺設備分別是Reflex MC 450和BevelCam MC 450,兩臺設備將和450mm設備前端模塊一同集成于ISMI 450mm協(xié)同測試試驗臺。