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[導(dǎo)讀]27日從科技部獲悉,我國“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項進(jìn)入全面實(shí)施階段。據(jù)介紹,“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備,

27日從科技部獲悉,我國“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項進(jìn)入全面實(shí)施階段。

  據(jù)介紹,“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備,掌握具有自主"知識產(chǎn)權(quán)" 的成套先進(jìn)工藝及相關(guān)新材料技術(shù),打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進(jìn)口的狀況,帶動相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整。

  重大專項是實(shí)現(xiàn)我國中長期科技發(fā)展規(guī)劃的一項重要內(nèi)容,黨中央、國務(wù)院高度重視重大專項的實(shí)施工作,多次召開專門會議研究部署。為此,“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項領(lǐng)導(dǎo)小組成立了專項咨詢委員會、專項總體專家組和專項實(shí)施管理辦公室等機(jī)構(gòu),規(guī)范了實(shí)施管理辦法。

  據(jù)了解,該重大專項面向全國廣泛征集項目,經(jīng)過嚴(yán)格的篩選及“三評兩審”立項程序,目前擬啟動54個項目,其中裝備整機(jī)15項、成套工藝11項、關(guān)鍵材料9項、關(guān)鍵技術(shù)與零部件11項、前瞻性研究等8項,總投資180多億元。

  科技部部長萬鋼指出,啟動“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項是發(fā)揮科技支撐作用,促進(jìn)經(jīng)濟(jì)平穩(wěn)較快發(fā)展的重大行動,同時也是充分發(fā)揮科技的重要作用,體現(xiàn)“治本”要求的重要舉措,對提高“擴(kuò)內(nèi)需、保增長”的科技含量,從根本上實(shí)現(xiàn)“調(diào)結(jié)構(gòu)、上水平”的目標(biāo),推動我國經(jīng)濟(jì)盡快走上創(chuàng)新驅(qū)動的發(fā)展軌道,具有重要意義。

  據(jù)介紹,該重大專項將陸續(xù)發(fā)布項目指南,以“公開、公平、公正”為原則,有序推進(jìn)立項評審及實(shí)施管理工作。

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