ASMI高k設(shè)備向臺灣代工廠出貨 TEL購買ASMI股份

ASM International透露其競爭對手Tokyo Electron Ltd.已收購了其4.9%的股份。

ASMI還宣布某家臺灣代工廠已選擇了ASMI的Pulsar原子層淀積（ALD）設(shè)備，用于28nm節(jié)點(diǎn)高k柵介質(zhì)工藝的量產(chǎn)。

業(yè)界猜測該代工廠是臺積電。臺積電正在開發(fā)28nm高k金屬柵工藝，但該公司拒絕對細(xì)節(jié)進(jìn)行評論。其競爭對手聯(lián)電也在開發(fā)28nm高k工藝。