提升半導(dǎo)體競(jìng)爭(zhēng)力 歐洲力推 “IMPROVE”計(jì)劃
為提升歐洲半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力,35個(gè)歐洲成員共同組成了 “IMPROVE”聯(lián)合研究計(jì)劃(Implementing manufacturing science solutions to increase equipment productivity and fab performance),以制造科學(xué)的解決方案,提升設(shè)備生產(chǎn)力和晶圓廠效能。
歐洲IMPROVE聯(lián)合研究計(jì)劃的成員包括來(lái)自?shī)W地利、法國(guó),德國(guó),愛爾蘭,意大利和葡萄牙等的軟件產(chǎn)業(yè)、在歐洲設(shè)有生產(chǎn)據(jù)點(diǎn)的半導(dǎo)體公司、晶圓廠設(shè)備供貨商以及學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)。
作為參與該計(jì)劃的芯片供貨商英飛凌科技(Infineon)表示,此計(jì)劃的執(zhí)行時(shí)間從2009年至2011年年底,并以提高半導(dǎo)體制造的生產(chǎn)力,同時(shí)降低成本和縮減制程時(shí)間為目標(biāo)。而英飛凌將負(fù)責(zé)協(xié)調(diào)德國(guó)成員的活動(dòng)事項(xiàng)。此計(jì)劃的成果將可提升生產(chǎn)據(jù)點(diǎn)的效率,強(qiáng)化歐洲半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),進(jìn)而創(chuàng)造新的就業(yè)機(jī)會(huì)。
英飛凌指出,新的芯片產(chǎn)品功能不斷增加,因而需要更多制程步驟與更長(zhǎng)的開發(fā)時(shí)間,以及高度復(fù)雜的制程及更長(zhǎng)的生產(chǎn)時(shí)程。今日,制造一個(gè)復(fù)雜的芯片平均需要550個(gè)個(gè)別制造步驟,約需耗時(shí)12到16周。通常以大約為50到100片晶圓為一個(gè)制造批次,每批完成后,制造廠必須為下個(gè)制造產(chǎn)品重新設(shè)定生產(chǎn)工具。
因此,為了保持競(jìng)爭(zhēng)力,精密的狀況監(jiān)控和預(yù)測(cè)性維護(hù)實(shí)有其必要。監(jiān)控整個(gè)生產(chǎn)線的半導(dǎo)體生產(chǎn)工具和加工晶圓,再結(jié)合創(chuàng)新的數(shù)據(jù)分析策略,將可使高質(zhì)量的晶圓達(dá)到最大產(chǎn)值。
IMPROVE計(jì)劃的總預(yù)算約3,770萬(wàn)歐元,其中一半是由合作成員贊助,另一半則是由歐盟執(zhí)行委員會(huì)(European Commission)公開募資,以及參與國(guó)和歐洲奈米科技方案咨詢委員會(huì)(ENIAC)合作,成為 “SP4應(yīng)用于能源與環(huán)境的納米電子科技(Nanoelectronics for Energy & Environment)”子計(jì)劃成員而獲得之國(guó)家資金。德國(guó)聯(lián)邦教育研究部(BMBF)在 “Informations- und Kommunikationstechnologie 2020 (IKT 2020)”集資計(jì)劃中,資助本計(jì)劃350萬(wàn)歐元。
IMPROVE計(jì)劃的成員包括半導(dǎo)體和芯片廠制造商以及軟件供貨商,某些成員擁有多個(gè)據(jù)點(diǎn),依英文字母順序列示如下:AP Technologies(德國(guó))、Atmel(法國(guó))、Austria Microsystems(奧地利)、camLine(德國(guó))、CNR-IMM(意大利)、Critical Software(葡萄牙)、英飛凌科技(德國(guó))、InReCon(德國(guó))、英特爾(愛爾蘭)、iSyst(德國(guó))、LAM(意大利)、Lexas Research(愛爾蘭)、Numonyx(意大利)、PDF Solutions(法國(guó))、Probayes(法國(guó))、STMicroelectronics(法國(guó))、Straatum(愛爾蘭)和Techno Fittings(意大利)。
學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)成員包括CEA LETI(法國(guó))、都柏林城市大學(xué)(愛爾蘭)、圣太田礦業(yè)學(xué)校(法國(guó))、維也納新市高等職校(奧地利)、弗勞恩霍夫系統(tǒng)整合暨裝置技術(shù)研究機(jī)構(gòu)(IISB,德國(guó))、GSCOP(法國(guó))、意大利國(guó)家研究委員會(huì)(意大利)、LTM CNRS(法國(guó))、德國(guó)奧格斯堡(Augsburg)和埃朗根紐倫堡(Erlangen-Nuremberg)大學(xué),以及意大利米蘭(Milano)、帕多瓦(Padova)和帕維亞(Pavia)大學(xué)。