探秘!走進GlobalFoundries德國代工廠
雖然仍有很大一部分股份掌握在AMD手里,但GlobalFoundries已經(jīng)走上了獨立自主的發(fā)展之路,為AMD制造處理器的同時也在積極爭取更多客戶。近日,GlobalFoundries邀請了一些媒體記者,前往其位于德國德累斯頓的半導體晶圓廠進行參觀。
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12名觀眾已經(jīng)“裝扮”完畢,正等待批準進入潔凈室。
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GlobalFoundriesFab1工廠,也就是之前AMD的Fab30/36。
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琥珀色的光芒說明這里是處理器芯片制造過程中的光刻區(qū)域。順便說,這里的設備是整個生產(chǎn)線里最昂貴的。
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GlobalFoundries擁有全球首臺第二代沉浸式光刻設備,可將半導體工藝帶入后40nm時代,預計會一直延續(xù)到22nm。
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化學機械拋光(CMP)區(qū)域的設備,眼前這臺主要是用來進行銅互連的。
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在當今的芯片制造過程中,工程師和生產(chǎn)線的交互幾乎全部都是通過計算機進行的。
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一位記者發(fā)現(xiàn),這里的工作人員都“不茍言笑”。他是對的。
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門外的草地和村莊看起來仿佛有幾光年之遙。
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全自動晶圓盒傳送系統(tǒng)。由線性電動機驅動,每個載具都有一個晶圓傳送盒(FOUP),最多可容納25塊晶圓。根據(jù)制造工藝不同,價值最高可達100萬美元。
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在原材料測試部門,工程師利用離子束切割晶圓,便于在顯微鏡下檢查更深的晶圓層。