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[導(dǎo)讀]日本科學(xué)技術(shù)振興機(jī)構(gòu)(JST)2011年7月與韓國三星電子就使用氧化物半導(dǎo)體的“IGZO(In-Ga-Zn-O)TFT”技術(shù)專利簽署了授權(quán)協(xié)議。該技術(shù)基于東京工業(yè)大學(xué)應(yīng)用陶瓷研究所教授細(xì)野秀雄的研究小組1995年開始開發(fā)的“透明氧

日本科學(xué)技術(shù)振興機(jī)構(gòu)(JST)2011年7月與韓國三星電子就使用氧化物半導(dǎo)體的“IGZO(In-Ga-Zn-O)TFT”技術(shù)專利簽署了授權(quán)協(xié)議。該技術(shù)基于東京工業(yè)大學(xué)應(yīng)用陶瓷研究所教授細(xì)野秀雄的研究小組1995年開始開發(fā)的“透明氧化物半導(dǎo)體(TAOS)”。

IGZOTFT是實(shí)現(xiàn)具有超高精細(xì)、高速驅(qū)動及柔性等特點(diǎn)的新一代顯示器的核心技術(shù)之一,日本國內(nèi)外的面板廠商正在進(jìn)行激烈的開發(fā)競爭。這是因為IGZOTFT的載流子遷移率高達(dá)非晶硅型TFT的數(shù)十倍,而且很少產(chǎn)生制造偏差。另外,IGZO能夠采用低溫工藝,還可考慮在基本室溫下于樹脂基板上制作TFT。除了三星之外,最近夏普、日本半導(dǎo)體能源研究所(SEL)及東芝等也加入了實(shí)用化競爭。

此次向三星提供授權(quán)的專利技術(shù)基于細(xì)野在JST的支持下取得的研發(fā)成果。細(xì)野自己的專利以及JST擁有的專利廣泛涉及材料成分、設(shè)備及制造工藝等,共有數(shù)十項。除了在JST的支持下獲得的專利之外,東京工業(yè)大學(xué)與佳能共同取得的專利也有“10項左右”(細(xì)野)。此次將把這50多項專利打包提供給三星。

正是因為三星專利才得以實(shí)用化

此次的專利基于在日本政府資助下取得的研究成果,JST宣布向三星提供專利授權(quán)之后,引起了不同反響,其中不乏指責(zé)之聲。細(xì)野對此作出了以下解釋:①與三星簽署的協(xié)議沒有排他性,授權(quán)大門同樣向日本國內(nèi)企業(yè)敞開,②如果沒有三星的話,辛苦開發(fā)出來的IGZOTFT就有可能無法實(shí)用化。

第②點(diǎn)尤其重要,細(xì)野就此高度評價了三星公司的研發(fā)能力與管理層的投資判斷力。據(jù)說細(xì)野2004年在英國的學(xué)術(shù)雜志《自然》上發(fā)表IGZOTFT相關(guān)論文時,日本大型面板廠商的反應(yīng)十分遲鈍。“看到論文后立即與我們聯(lián)系的企業(yè)是佳能、凸版印刷、韓國LG電子以及三星的研發(fā)部門——三星尖端技術(shù)研究所(SAIT)”。

當(dāng)時,很多日本面板廠商都在氧化鋅(ZnO)半導(dǎo)體的實(shí)用化方面遭受過挫折。據(jù)說這些廠商對成分與氧化鋅半導(dǎo)體相似,而且使用稀有金屬In的IGZO表明了拒絕態(tài)度。另外一個原因是,當(dāng)時日本國內(nèi)的很多面板廠商都專注于LTPS(低溫多晶硅)技術(shù)。

細(xì)野首先與佳能積極進(jìn)行IGZO的聯(lián)合研究。但佳能缺乏顯示器技術(shù)。TFT需要在推進(jìn)開發(fā)的同時評估使用這種晶體管的顯示器的影像顯示能力,以不斷提高性能,但佳能的缺點(diǎn)是“無法在開發(fā)TFT時進(jìn)行信息反饋”(細(xì)野)。而擁有顯示器技術(shù)的韓國廠商通過發(fā)揮反饋機(jī)制的作用,逐步提高了技術(shù)成熟度。

兩家韓國廠商的開發(fā)態(tài)度也不相同?!癓G沒有公開研究成果,對實(shí)用化的投資判斷也落后于人。而三星對研究成果的討論采取非常開放的態(tài)度,還積極承擔(dān)了風(fēng)險”(細(xì)野)。

也就是說,從基礎(chǔ)研究不停走向面板實(shí)用化道路的其實(shí)只有三星一家公司。而且,三星還不斷在各種展會及學(xué)會上展出了使用IGZOTFT的液晶面板及有機(jī)EL面板,這讓“日本國內(nèi)的面板廠商開始重新考慮IGZOTFT”(細(xì)野)。另外,凸版印刷好像走上了開發(fā)電子紙的自主路線。

與惠普展開技術(shù)競爭

細(xì)野表示,自己并沒有從三星等公司獲得任何研發(fā)費(fèi)用,而是一直與其保持一定距離。還就專利與三星乃至韓國專利廳等進(jìn)行了最大限度的交涉。“如果我們不提供授權(quán)的話,三星可能會選擇美國惠普(HP)公司正在全球申請專利的競爭技術(shù)”(細(xì)野)。

關(guān)于細(xì)野在日本獲得的IGZO專利,最初韓國并不承認(rèn)其作為專利技術(shù)的新穎性。因此,盡管周圍人認(rèn)為“勝算只有10%”,細(xì)野仍要求在韓國進(jìn)行審判,并親自站在證人席上陳述了技術(shù)的新穎性。2010年11月,其部分觀點(diǎn)終于獲得認(rèn)可。細(xì)野的努力可能也對此次授權(quán)起到了積極作用。

細(xì)野在回顧這幾年的“奮斗”時表示,“專利技術(shù)得到采用才能體現(xiàn)出開發(fā)的意義。如果不向三星提供授權(quán)而導(dǎo)致專利被埋沒的話,將是一件可怕的事情”。

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