東芝開發(fā)半導體設備自動中止與關閉系統(tǒng)

21ic訊 東芝公司(Toshiba Corporation)和Nippon Denno Co., Ltd.日前宣布開發(fā)一種自動中止與關閉系統(tǒng)，可在發(fā)生地震時，關閉半導體生產設備。該系統(tǒng)已從2013年2月起在東芝旗下子公司—東芝巖手電子公司(Iwate Toshiba Electronics)投入使用。東芝打算進一步完善該系統(tǒng)，并將之推向市場。

該系統(tǒng)可檢測到主要的地震波，然后在主沖擊波來襲前的十秒內關閉生產設備。該系統(tǒng)利用了東芝的半導體制造與生產設備知識以及Nippon Denno的自動操作控制技術。

該系統(tǒng)可同時安全地控制多達20種不同設備的中止與關閉。它可降低地震帶來的損壞風險，減少恢復所需的時間與成本。舉例來說，采用該系統(tǒng)可將平板印刷設備的恢復時間減少一半。

東芝將向半導體晶圓廠和其他工業(yè)設施銷售該系統(tǒng)，并將根據(jù)在應對東日本大地震時所積累的專業(yè)知識繼續(xù)改善晶圓廠的抗災運轉能力。